激光直写系统

作品数：26被引量：56H指数：5
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相关期刊：《激光杂志》《科技通报》《光电子．激光》《光学精密工程》更多>>
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激光直写系统中DMD控制方法的设计与改进被引量：3
《半导体光电》2021年第5期741-746,759,共7页张林 胡丹峰 朱鹏飞 浦东林 徐杰 王加俊 
江苏省自然科学基金面上研究项目(BK20171249)。
为解决在激光直写系统中利用数字微镜器件(DMD)无法对纵向像素数大于768的灰度图像进行滚动显示的问题,文章在其控制电路的数据传输、存储及显示驱动技术方面开展了研究。利用FPGA中丰富的逻辑资源实现了图像数据传输方式的改进,通过移...
关键词：数字微镜器件 现场可编程门阵列 数据存储 激光直写 
飞秒激光系统图像调焦装置以及方法
《空间控制技术与应用》2020年第6期37-42,共6页寇千慧 刘华 谭明月 陆子凤 张有旋 王雨时 
国家自然科学基金资助项目(61875036)。
飞秒激光直写技术在复杂三维微结构加工领域具有显著优势,而调焦是否精准直接影响了所加工结构的完整度.提出了在光路中临时置入调焦光源和物的图像调焦技术,通过调节物的位置使其成像面与激光聚焦面一致,从而通过清晰可分辨的成像状态...
关键词：飞秒激光直写系统 调焦技术 光学设计 模拟分析 加工精度 
基于计算机控制的激光直写系统的设计及应用
《工业控制计算机》2016年第5期82-83,共2页宓斌华 李静 
国家自然基金项目(91023049)
激光直写技术具有加工效率高、加工速度快、环境污染小等优点,近年来在国内的发展非常迅速。采用计算机操纵控制的激光直写技术,可以构建复杂的微纳图案,满足微细加工要求。建立了一套基于计算机控制的激光直写系统,它由光机电和控制软...
关键词：激光直写技术 计算机控制 金光栅 
基于数字微反射镜的激光直写系统中控制软件的设计
《数字技术与应用》2012年第2期140-141,共2页王国庆 龙沪强 姜兆华 骆公序 
上海市科学技术委员会应用技术开发专项资金项目(项目编号:08-205)
激光直写系统实现了数码面阵图像输入方式。对于大面积3D或光学可变图像,可以用面积分割法将大图像分割成许多小区域图像。计算机软件逐个完成小区域3D或光学可变图像,最后拼成最终图像。另一种方法,也可以采用分色显示图层,逐层光刻,...
关键词：DMD控制 数字微反射镜 BMP文件结构 BMP显示 
上海光机所研制成功多路并行激光直写系统
《光机电信息》2011年第1期43-43,共1页
2010年11月，上海光机所周常河研究员课题组成功研制出多路激光直写装置。该装置采用405nm的蓝光激光光源．尼康0．9数值孔径的透镜，以及自动聚焦系统，实现了25路高精度并行激光直写，刻写光斑的线宽小于600nm。相比于传统激光直写系...
关键词：激光直写系统 并行 多路 光机 上海 自动聚焦系统 衍射光学元件 数值孔径 
基于数字微反射镜的激光直写系统中控制软件的设计
《应用激光》2010年第4期357-360,共4页王国庆 吴宾初 姜兆华 
上海市科学技术委员会应用技术开发项目(项目编号:08-205)
激光直写系统实现了数码面阵图像输入方式。对于大面积3D或光学可变图像,可以用面积分割法将大图像分割成许多小区域图像。计算机软件逐个完成小区域3D或光学可变图像,最后拼成最终图像。另一种方法,也可以采用分色显示图层,逐层光刻,...
关键词：DMD控制 数字微反射镜 BMP文件结构 BMP显示 
高精度微光学器件激光直写光刻系统研究被引量：2
《现代电子技术》2008年第24期20-23,共4页杨特育 
设计一套高精度激光直写光刻系统,它采用带17位增量式编码器的松下MINAS A系列交流伺服马达,同时还采用基于高精密滚珠丝杆和超精密线性滑轨导向的x-y运动平台,可以实现约30 nm的运动控制灵敏度。针对该系统开发一套基于ISA总线的三维...
关键词：激光直写系统 光刻 交流伺服电机 ISA 
微细加工技术与设备
《中国光学》2008年第4期92-93,共2页
关键词：纳米压印 压强分布 控制模型 护环 技术与设备 优化方法 激光直写系统 精密工程 化学机械抛光 工程研究 
基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现被引量：5
《激光杂志》2007年第6期46-47,共2页陆亚聪 陈林森 魏国军 邵洁 周小红 
提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨...
关键词：激光直写 数字微反射镜 光变图像 
用于二元光学器件制作的激光直写系统被引量：5
《光电子．激光》2006年第10期1212-1215,共4页魏国军 邵洁 周小红 陈林森 
通过双远心成像光路,激光直写(LDW)系统SVG-LDW 04把液晶空间光调制器(LCD-SLM)上的光斑直接成像在光刻胶板上,得到高质量的光斑图形。放置在SLM的共轭面上的CCD成像调焦装置能够实时地在监控像面质量。控制SLM的输入图形、曝光量(刻蚀...
关键词：激光直写(LDW) 二元光学 衍射 
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