微细加工技术与设备  

出　　处：《中国光学》2008年第4期92-93,共2页Chinese Optics

关 键 词：纳米压印 压强分布 控制模型 护环 技术与设备 优化方法 激光直写系统 精密工程 化学机械抛光 工程研究 

分 类 号：TG66[金属学及工艺—金属切削加工及机床]