全固态通用型压力传感器、变送器  

作　　者：庞世信[1] 刘沁[1] 吕忠刚[1] 

机构地区：[1]沈阳仪器仪表工艺研究所

出　　处：《仪器仪表用户》1994年第3期9-11,共3页Instrumentation

摘　　要：全固态通用型压力传感器、变送器沈阳仪器仪表工艺研究所庞世信，刘沁，吕忠刚扩散硅压力传感器与应变式等其它类型压力传感器相比具有很多优点，多年来一直是人们关注的重点。国外目前已形成了系列化和通用化的产品，国内近些年来在扩散硅压力传感器开发和应用上也取得了...

关 键 词：压力传感器 变送器 固态膜 应变式 传感器应用 敏感元件 温度补偿 工艺研究所 仪器仪表 硅膜 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]