庞世信

作品数：12被引量：10H指数：2
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供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
发文主题：压力传感器传感器扩散硅扩散硅压力传感器硅更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《真空》《仪表技术与传感器》《世界仪表与自动化》《半导体技术》更多>>
所获基金：辽宁省教育厅资助项目国家自然科学基金更多>>
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压力传感器计算机辅助设计软件的设计被引量：3
《仪表技术与传感器》2008年第5期67-68,71,共3页李新 黄体笋 庞世信 徐开先 
十一五研制项目(JPPT-115-230);辽宁省教育厅资助项目(20060631)
基于ANSYS有限元软件和VB6.0开发了一套压力传感器计算机辅助设计软件。采用参数建模方法输入传感器的结构参数,自动完成建模、网格划分、加载以及求解,并保存节点坐标及相应的应力结果文件;输入敏感电阻的位置、阻值、条宽等参数,依据...
关键词：压力传感器 有限元 计算机辅助设计 
耐高温SOI结构压力敏感芯片的研制被引量：4
《微纳电子技术》2007年第7期172-173,182,共3页李新 庞世信 徐开先 孙承松 
如何制作与生产适宜高温环境下应用的压力传感器，一直备受关注。在SIMOX技术SOI晶圆的基础上，设计了压力敏感芯片结构，并基于MEMS工艺制作了芯片。电桥采用1mA恒流源供电，在300℃下，满量程输出≥180mV，灵敏度为30-40mV/（mA.MPa...
关键词：高温 SOI结构 压力敏感芯片 
智能压力测试装置
《世界仪表与自动化》1998年第1期49-51,共3页庞世信 
关键词：压力测量装置 智能式 变送器 传感器 
E 型扩散硅力敏器件的研制被引量：1
《仪表技术与传感器》1997年第9期34-36,共3页庞世信 李妍君 乔文华 
本文阐述了Ｅ型膜片的结构特性，根据其应力分布特点及硅材料在（１１０）晶面的＜１１１＞晶向上具有最大压阻系数，开展了力敏芯片的最佳设计，并进行了Ｅ型力敏器件的制作。最后给出了器件的主要技术指标。
关键词：硅 差压 力敏器件 传感器 
采用快速微分输出的氯气传感器被引量：2
《半导体技术》1997年第3期25-28,共4页李昕欣 郎海宁 庞世信 
介绍了一种新型氯气传感器。通过对敏感材料的研究和采用混合集成电路工艺，使器件具有较高的可靠性和批量制造能力。通过对化学吸附平衡方式的敏感特性的研究，提出以微分输出信号作为检测信号的方式，从而实现了在３秒钟内响应输出的...
关键词：氯气 传感器 微分输出 
高精度硅电容压力传感器的研究被引量：1
《仪表技术与传感器》1996年第10期7-10,共4页李昕欣 张纯棣 庞世信 鲍敏杭 杨恒 
八五攻关项目;国家自然科学基金
本文介绍了一种采用微机械技术形成的电容压力传感器。在设计上采用完全对称的三层结构,从而较好地消除了由温度特性不匹配造成的漂移。利用Diode-quad接口电路的输出增益反馈方式基本消除了器件固有的非线性,使传感器的精度大大提高。
关键词：电容 压力传感器 传感器 硅电容 
SG-75扩散硅压力传感器
《仪表技术与传感器》1996年第4期16-18,共3页庞世信 李妍君 唐伟 
本文介绍了工业压力变送器用全固态结构的SG-75扩散硅压力传感器的研制。传感器压力范围0.16～50MPa,满量程输出120～230mV/0.78mA,精度0.2％F·S,工作温区-30～90℃。该传感器现已批量生产。
关键词：扩散硅 压力 传感器 
扩散硅压力传感器的温度特性及其补偿
《仪表技术与传感器》1995年第6期5-8,共4页唐伟 庞世信 
本文分析了扩散硅压力传感器灵敏度温漂的各种曲线,同时给出了一种简单的温度补偿方法.这种方法虽然不能得到准确解,但是它的补偿结果非常好.采用这种方法补偿对所用的外围器件要求不需要非常严格,而且适用于窄、宽温范围.本文给出了补...
关键词：扩散硅 压力传感器 温度补偿 传感器 
全固态通用型压力传感器、变送器
《仪器仪表用户》1994年第3期9-11,共3页庞世信 刘沁 吕忠刚 
全固态通用型压力传感器、变送器沈阳仪器仪表工艺研究所庞世信，刘沁，吕忠刚扩散硅压力传感器与应变式等其它类型压力传感器相比具有很多优点，多年来一直是人们关注的重点。国外目前已形成了系列化和通用化的产品，国内近些年来在扩...
关键词：压力传感器 变送器 固态膜 应变式 传感器应用 敏感元件 温度补偿 工艺研究所 仪器仪表 硅膜 
第二届全国敏感元件与传感器学术会议(STC′91)介绍
《仪表技术与传感器》1992年第1期10-11,17,共3页庞世信 郝永德 于成民 
本文介绍了第二届全国敏感元件与传感器学术会议的一般情况,我国敏感元件与传感器研究及开发取得的可喜成绩,同时还介绍了半导体传感器和微机械加工技术的发展状况。
关键词：敏感元件 传感器 材料 微机械加工 
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