力敏器件

作品数：14被引量：20H指数：3
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相关机构：沈阳仪器仪表工艺研究所北京化工大学复旦大学西安高压电器研究院有限责任公司更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《传感器世界》《仪器仪表与分析监测》《仪表技术与传感器》更多>>
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微尺度力敏器件力学特性及随机响应抑制研究被引量：1
《光学精密工程》2019年第7期1561-1568,共8页李林 王晓燕 钟俊 隋杰 刘婧 陈建峰 左富昌 
国防重点基础研究/十三五预研项目资助(No.D020403)
针对空间站用光学仪器上微尺度力学敏感器件随机振动响应值过大的问题,对该器件进行微尺度、精细化建模,研究其力学特性,并对其随机响应采取有效抑制措施。首先,探讨了微尺度模型边界协调和微尺度有限元变分问题,根据微尺度结构特点,建...
关键词：微尺度 精细化建模 随机响应 光学仪器 力敏器件 振动抑制 
汽车MEMS传感器的应用及发展被引量：10
《传感器世界》2002年第3期7-10,共4页吴雄 
本文通过大量的文献资料,评述汽车MEMS(微机电系统)传感器的应用现状及发展趋势,其中重点介绍几种传感器的原理和结构,同时对该领域的产业化也进行了探讨。
关键词：汽车传感器 微机电系统 力敏器件 
基于X型力敏器件的俯冲高度传感器
《传感器技术》2001年第8期35-37,共3页陈学江 孙秀霞 刘建伟 
研制了一种基于X型力敏器件的飞机俯冲高度传感器 。
关键词：X型力敏器件 差压传感器 俯冲高度传感器 
工业变送器用力敏器件的现状及发展
《传感器技术》1998年第3期1-4,共4页游国光 
介绍了工业变送器的特点及其对力敏器件的特殊要求，以扩散硅变送器为例，简要介绍了国内外变送器用力敏器件的现状及发展趋势。
关键词：工业变送器 力敏器件 电动式 变送器 
E 型扩散硅力敏器件的研制被引量：1
《仪表技术与传感器》1997年第9期34-36,共3页庞世信 李妍君 乔文华 
本文阐述了Ｅ型膜片的结构特性，根据其应力分布特点及硅材料在（１１０）晶面的＜１１１＞晶向上具有最大压阻系数，开展了力敏芯片的最佳设计，并进行了Ｅ型力敏器件的制作。最后给出了器件的主要技术指标。
关键词：硅 差压 力敏器件 传感器 
方型硅杯力敏器件计算机辅助设计被引量：3
《仪表技术与传感器》1997年第8期15-18,共4页张治国 匡石 
介绍了扩散硅力敏器件计算机辅助设计的方法。根据方型硅杯形式的有限元分析结果，计算力敏器件的性能。给出了方型硅杯形式的应力和热应力分布曲线以及力敏电阻灵敏度曲线。
关键词：有限元 力敏电阻 CAD 传感器 力敏器件 
静电键合力引起硅微结构畸变的研究被引量：4
《仪表技术与传感器》1997年第1期17-20,共4页任建军 陶盛 沈绍群 
硅微机械力敏器件在封装时往往采用硅—玻璃静电键合的方法。但在静电键合时静电力也往往作用于不需要键合的结构部分。并可能引起这些结构的畸变，造成器件特性劣化或破坏。本文分析了静电力的这些影响。
关键词：硅微结构 静电键合 传感器 力敏器件 
力敏器件中间测试装置加载工作台的设计
《仪表技术与传感器》1996年第4期19-23,共5页袁慧珠 
力敏器件中间测试装置与其它中测装置的区别在工作台上。本文介绍了用于传感器力敏器件中间测试的加载工作台的特点,介绍了工作台负压加载的原理与方法,进行了加载真空系统的设计计算,90°分度转角精度的设计计算、用于θ向对准的蜗轮...
关键词：力敏器件 测试装置 加载工作台 设计 
扩散硅力敏器件温度补偿方法的研究
《武汉水利电力大学学报》1995年第1期52-57,共6页林涛 徐恕宏 
通过对扩散硅力敏器件（ＳＤＰＳ）建模，分析了其零点温漂和灵敏度温度调制的成因，提出了一种基于电阻网络的补偿方法并系统地叙述了电阻网络的配置及参数计算公式．最后给出了一组仿真结果．
关键词：硅力敏器件 温度 补偿电路 计算 
EI型扩散硅力敏器件工艺技术研究被引量：1
《仪表技术与传感器》1995年第1期17-19,共3页李妍君 乔文华 吴丁民 
本文叙述的EI型扩散硅力敏器件为工业变送器配套使用的微差压传感器,其压力量程为0.6kPa,线性优于0.5％。该器件填补国内空白,器件性能指标达到国际80年代中期同类产品先进水平。
关键词：扩散硅 力敏器件 工艺 压差传感器 变送器 
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