袁慧珠

作品数:7被引量:4H指数:1
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供职机构:沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
发文主题:划片机硅片三维建模有限元分析边角料更多>>
发文领域:金属学及工艺电子电信自动化与计算机技术化学工程更多>>
发文期刊:《中国科技成果》《新技术新工艺》《金刚石与磨料磨具工程》《仪表技术与传感器》更多>>
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划片机吸雾装置的设计
《中国科技成果》2010年第16期64-65,共2页马岩 张锡广 李建宁 袁慧珠 
本文以划片机水雾清理装置为研究对象,进行局部排风量与通风管道的设计计算,设计了包括吸气装置、水雾入口、水雾净化层与出气口的水雾吸排装置结构,介绍了工作原理及制作方法。所涉及的水雾清理装置,为减少环境污染,改善工作环境...
关键词:水雾清理 结构设计 划片机 
金刚石砂轮刀片划切过程仿真研究
《新技术新工艺》2010年第1期53-55,共3页马岩 孙家全 袁慧珠 王国伟 
对金刚石砂轮刀片进行力学分析,得到砂轮刀片切向应力与径向应力。应用有限元分析软件ANSYS建立砂轮刀片模型,分别对应8000~32000r/min不同转速下的砂轮刀片,应用第三强度理论,得到不同转速下砂轮刀片的等效应力云图。由仿真结果可以看...
关键词:金刚石砂轮刀片 等效应力 ANSYS 仿真 
金刚石砂轮刀片划切过程性能分析与三维建模被引量:3
《金刚石与磨料磨具工程》2009年第5期74-77,共4页马岩 袁慧珠 鞠仁忠 孙家全 
介绍了硅片加工过程中三种划片方法。对金刚石砂轮刀片进行了力学分析,应用有限元分析软件建立了砂轮刀片回转模型,得到了刀片的应力图。通过仿真得到,砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处。并且,...
关键词:金刚石砂轮刀片 硅片划切 有限元分析 三维建模 
金刚石砂轮刀片划切过程性能分析与三维建模
《仪表技术与传感器》2009年第B11期274-276,共3页马岩 袁慧珠 鞠仁忠 孙家全 夏宗群 
介绍了硅片加工过程中3种划片方法及划片机国内外发展趋势。对金刚石砂轮刀片进行力学分析,应用有限元分析软件建立砂轮刀片回转模型,得到刀片的应力图。通过仿真得到:砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀...
关键词:金刚石砂轮刀片 划切过程 有限元分析 三维建模 
划片机定位精度的设计被引量:1
《仪表技术与传感器》2003年第7期51-52,共2页袁慧珠 
介绍了如何在划片机的设计、划片机的装配调整以及划片机工作过程中的误差校正 3个方面的问题 ,达到划片机对定位精度的要求。
关键词:精密切割 划片机 定位精度 误差校正 装配 调整 设计 
ZSH-Ⅲ 型自动砂轮划片机
《仪表技术与传感器》1998年第12期11-12,27,共3页袁慧珠 李德爱 孙家全 王纪春 
】ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想、设计方案、主要技术关键、主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小批量生产。
关键词:开槽 半导体 自动砂轮划片机 砂轮划片机 
力敏器件中间测试装置加载工作台的设计
《仪表技术与传感器》1996年第4期19-23,共5页袁慧珠 
力敏器件中间测试装置与其它中测装置的区别在工作台上。本文介绍了用于传感器力敏器件中间测试的加载工作台的特点,介绍了工作台负压加载的原理与方法,进行了加载真空系统的设计计算,90°分度转角精度的设计计算、用于θ向对准的蜗轮...
关键词:力敏器件 测试装置 加载工作台 设计 
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