王纪春

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ZSH-Ⅲ 型自动砂轮划片机
《仪表技术与传感器》1998年第12期11-12,27,共3页袁慧珠 李德爱 孙家全 王纪春 
】ＺＳＨ－Ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了ＺＳＨ－Ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想、设计方案、主要技术关键、主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小批量生产。
关键词：开槽 半导体 自动砂轮划片机 砂轮划片机 
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