任建军

作品数：3被引量：14H指数：3
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供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系更多>>
发文主题：传感器静电驱动静电力微机械结构微机械更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》《传感技术学报》《复旦学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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静电力作用下微机械结构的位移特性分析被引量：5
《复旦学报（自然科学版）》1999年第3期282-288,共7页杨恒 鲍敏杭 沈绍群 李昕欣 任建军 
国家自然科学基金重点项目;国家传感器重点实验室资助课题
分析了在微机械传感器与执行器中常用的３种微机械结构在静电力作用下的静态位移特性，并对典型结构进行了数值计算。结果显示对质量块平动的双端固支梁岛结构在静电力作用下极板的最大平衡位移正好为无静电力时极板间距的１／３。
关键词：静电力 微机械结构 位移特性 静电驱动 传感器 悬臂梁结构 扭转结构 
单面多层结构硅微压传感器的研制被引量：5
《传感技术学报》1997年第4期1-6,共6页任建军 杨恒 李昕欣 沈绍群 鲍敏杭 
提出并利用“掩模-无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器,该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力传感器的不足,从结构上给予了改进,文中给出了理论分析和实验结果。研制的微压传感器在400Pa的微小量程下...
关键词：传感器 微压传感器 压阻 硅 腐蚀 结构 
静电键合力引起硅微结构畸变的研究被引量：4
《仪表技术与传感器》1997年第1期17-20,共4页任建军 陶盛 沈绍群 
硅微机械力敏器件在封装时往往采用硅—玻璃静电键合的方法。但在静电键合时静电力也往往作用于不需要键合的结构部分。并可能引起这些结构的畸变，造成器件特性劣化或破坏。本文分析了静电力的这些影响。
关键词：硅微结构 静电键合 传感器 力敏器件 
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