第二届全国敏感元件与传感器学术会议(STC′91)介绍  

作　　者：庞世信[1] 郝永德[1] 于成民[1] 

机构地区：[1]沈阳仪器仪表工艺研究所

出　　处：《仪表技术与传感器》1992年第1期10-11,17,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：本文介绍了第二届全国敏感元件与传感器学术会议的一般情况,我国敏感元件与传感器研究及开发取得的可喜成绩,同时还介绍了半导体传感器和微机械加工技术的发展状况。

关 键 词：敏感元件 传感器 材料 微机械加工 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]