采用快速微分输出的氯气传感器  

作　　者：李昕欣[1] 郎海宁 庞世信[2] 

机构地区：[1]复旦大学电子工程系传感器研究室 [2]机械部沈阳仪器仪表工艺研究所国家传感器工程中心

出　　处：《半导体技术》1997年第3期25-28,共4页Semiconductor Technology

摘　　要：介绍了一种新型氯气传感器。通过对敏感材料的研究和采用混合集成电路工艺，使器件具有较高的可靠性和批量制造能力。通过对化学吸附平衡方式的敏感特性的研究，提出以微分输出信号作为检测信号的方式，从而实现了在３秒钟内响应输出的高敏感速度，并使器件实现频繁的重复测量而重复性误差很小。

关 键 词：氯气 传感器 微分输出 

分 类 号：TP212.02[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]