可以实现0.08μm对准精度的光刻机  

作　　者：何雅全 

出　　处：《航空精密制造技术》1992年第6期3-3,共1页Aviation Precision Manufacturing Technology

摘　　要：日本住友重机械工业(株)最近开发出以世界上最小的超导SOR为光源的光刻机,从而完成了X射线光刻系统,向256M DRAM以上的下一代半导体存储器迈进了一步(图1)。

关 键 词：光刻机 对准精度 半导体存储器 日本住友 掩模 送料 精对准 轴向色差 光学系统 滚珠丝杠 

分 类 号：V26[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]