失效分析中的等离子腐蚀技术  

作　　者：江理东 夏泓 

出　　处：《电子产品可靠性与环境试验》1993年第2期17-19,共3页Electronic Product Reliability and Environmental Testing

关 键 词：等离子腐蚀 失效分析 半导体器件 

分 类 号：TN305.2[电子电信—物理电子学]