微光刻  

作　　者：方舟 严寒 小平 

出　　处：《光机电信息》2001年第4期59-61,共3页OME Information

摘　　要：2001040102纳米光刻技术[中]/罗先刚…//物理.-2000,29(6).-358—363,3502001040103用于高分辨大视场微光刻的全息照相技术研究[中]/冯伯儒…//微细加工技术.-2001,(1).

关 键 词：微光刻 纳米光刻 全息照相 微细加工 极紫外光刻 光学系统 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]