六氟化钨的合成与开发  

作　　者：于剑昆 

出　　处：《无机化工信息》2004年第2期34-37,3,共5页Inorgaic Chemical News

摘　　要：介绍了国外六氟化钨的制备和精制工艺进展，重点描述了电子工业中应用的高纯度六氟化钨的制备工艺。同时介绍了六氟化钨的性质、产品规范、应用及经济等方面的状况，评述了六氟化钨在国内外的发展前景。

关 键 词：六氟化钨 合成 开发 性质 工业化生产 化学气相沉积 

分 类 号：TQ136.13[化学工程—无机化工]