电镀铑形成Rh—GeSi／Si欧姆接触的特性研究  

作　　者：夏瑞东 庄蔚华 

出　　处：《电子工艺简讯》1993年第11期4-5,共2页

关 键 词：半导体器件 镀铑 欧姆接触 特性 

分 类 号：TN305.93[电子电信—物理电子学]