声表面波直线电机研究进展  

Progress in the Surface Acoustic Wave Linear Motor

作　　者：熊瑛[1] 邬玉亭[1] 褚家如[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学,安徽合肥230026

出　　处：《微电机》2004年第3期18-20,共3页Micromotors

摘　　要：介绍了一种新型的超声电机——声表面波直线电机。这是一种具有极高的分辨率(几个纳米),长工作行程(几十厘米)的微驱动器。文中从工作原理、实验装置以及存在的问题等方面介绍这种电机的研究发展。This paper focus on one type of ultrasonic motors, the surface acoustic wave linear motor. It is a micro actuator with high resolution and long stroke. A review on the work principle, experiment setup, shortcomings of the motor is given in this paper.

关 键 词：声表面波直线电机 超声电机 纳米技术 微执行器 

分 类 号：TM359.4[电气工程—电机]