邬玉亭

作品数：19被引量：50H指数：5
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供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
发文主题：阳极键合PECVD发散点计量光栅跑合更多>>
发文领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术电气工程更多>>
发文期刊：《火灾科学（中英文）》《工具技术》《新技术新工艺》《机械制造》更多>>
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PECVD氮化硅薄膜内应力试验研究被引量：7
《新技术新工艺》2008年第1期77-80,共4页杨景超 赵钢 邬玉亭 许晓慧 
研究了等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的内应力。通过改变沉积工艺参数,研究了射频功率、反应气体流量比、载气体分压比和反应压强对氮化硅薄膜的内应力的影响,并且分析了氮化硅薄膜内应力的形成机制。制备出了应力只有-182.4MPa...
关键词：氮化硅薄膜 内应力 PECVD 
PECVD中电子能量状态对氮化硅薄膜应力的影响被引量：4
《新技术新工艺》2007年第7期102-104,共3页杨景超 赵钢 邬玉亭 
研究了平板电容式PECVD设备中电子能量状态对氮化硅薄膜应力的影响。通过改变沉积工艺参数,研究了射频功率、载气体分压比和反应压强与电子能量状态之间的联系及电子能量状态变化对氮化硅薄膜应力的影响。最终制备出了应力只有-182.4 MP...
关键词：PECVD 氮化硅 应力 电子能量 
光纤定位单元粗跑合阶段的故障分析与处理
《中国科学技术大学学报》2007年第6期641-646,共6页干方建 邬玉亭 胡红专 
国家"九五"重大科学工程(98BJG001)资助
针对光纤定位单元在粗跑合阶段的故障现象,分析故障产生机理,研究并提出了故障排除方法和手段.结合该阶段光纤定位单元的运行特点,建立光纤定位单元的故障树,还根据故障树来评价各零部件的故障状态及其对保证系统可靠性、安全性的重要程度.
关键词：光纤定位单元 跑合 故障机理 故障树 
并行双回转光纤单元跑合过程中爬行现象浅析
《中国科学技术大学学报》2007年第6期647-652,共6页杨景超 邬玉亭 干方建 胡红专 李刚 
国家"九五"重大科学工程(98BJG001)资助
并行双回转的爬行现象对高精度光纤定位是十分不利的.为了克服这种爬行现象,首先从动力学角度建立光纤爬行的动力学模型,论证了光纤爬行的实质是一种复杂的摩擦自激振动现象,然后结合实际跑合过程,从机械学的角度进一步分析获得传动齿...
关键词：爬行 并行双回转光纤 跑合 
低温阳极键合技术研究被引量：7
《传感器技术》2005年第9期37-39,共3页王多笑 邬玉亭 褚家如 
通过键合温度220～250℃、键合电压400～600V的硅玻璃低温阳极键合实验,分析了温度和电场分别对键合强度和键合效率的影响,并讨论了键合机理.
关键词：低温 阳极键合 键合机理. 
机械制图课程教学研究及其改革实践被引量：2
《教育与现代化》2004年第4期34-40,共7页沈连婠 王瑞芳 邬玉亭 王琪民 
本文介绍了《机械制图》课程从课程结构、教材内容和教学方法等全方位的教学改革实践活动。由于边改革边实验 ,同时坚持以学生为本 ,从而激发了学生的学习兴趣 ,调动了师生的教学积极性 ,有效地组织了教学活动 ,在提高教学效率的同时改...
关键词：教学积极性 以学生为本 高教 课程教学 课程结构 师生 教材内容 机械制图课 《机械制图》课 
声表面波直线型电机小型化的研究
《机械制造》2004年第3期42-44,共3页熊瑛 邬玉亭 褚家如 
随着微机电系统(MEMS)和声表面波技术的不断发展,设计和制造小型(微型)声表面波直线型电机成为必然的趋势。文章介绍了一种以铌酸锂/石英/硅层状结构作为压电基片,可以加工出体积足够小、理论上行程不受限制、实现二维运动的新样式电机。
关键词：机电耦合系数 压电材料 声表面波 直线电机 微机电系统 
声表面波直线电机研究进展被引量：2
《微电机》2004年第3期18-20,共3页熊瑛 邬玉亭 褚家如 
介绍了一种新型的超声电机——声表面波直线电机。这是一种具有极高的分辨率(几个纳米),长工作行程(几十厘米)的微驱动器。文中从工作原理、实验装置以及存在的问题等方面介绍这种电机的研究发展。
关键词：声表面波直线电机 超声电机 纳米技术 微执行器 
采用线阴极的快速阳极键合方法被引量：8
《传感器技术》2003年第5期17-19,共3页吴登峰 邬玉亭 褚家如 张淑珍 
在平板阴极和点阴极方式做阳极键合时,时间-电流特性、键合速度、结合界面质量等都有所不同。通过建立力学和电学模型,分析了不同阴极形状对阳极键合的时间、强度以及结合界面特性的影响。根据模型分析,采取了线阴极工作方式做阳极键合...
关键词：阳极键合 时间-电流特性 键合速度 界面质量 线阴极 电学模型 力学模型 
阳极键合工艺进展及其在微传感器中的应用被引量：6
《传感器技术》2002年第11期4-7,共4页吴登峰 邬玉亭 褚家如 
分析了阳极键合技术的原理和当前阳极键合技术的研究进展 ,综述了微传感器对阳极键合的新需求 ,展望了阳极键合技术在传感器领域的应用前景。
关键词：阳极键合 微传感器 应用 硅片 原理 
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