采用线阴极的快速阳极键合方法  

Rapid anodic bonding method with line cathode

作　　者：吴登峰[1] 邬玉亭[1] 褚家如[1] 张淑珍[2] 

机构地区：[1]中国科学技术大学精密机械与仪器系,安徽合肥230026 [2]中国科学技术大学天文与应用物理系,安徽合肥230026

出　　处：《传感器技术》2003年第5期17-19,共3页Journal of Transducer Technology

摘　　要：在平板阴极和点阴极方式做阳极键合时,时间-电流特性、键合速度、结合界面质量等都有所不同。通过建立力学和电学模型,分析了不同阴极形状对阳极键合的时间、强度以及结合界面特性的影响。根据模型分析,采取了线阴极工作方式做阳极键合,样品的键合区扩散时间只需要84s。结合界面无空洞,键合强度为16.7MPa。When anodic bonding is made with plate cathode and point cathode,characters such as timecurrent,bonding speed and bonding qualities are different from each other.All these characters with mechanical module and electrical module have been analyzed.According to these analyzing,sample is bonded within 84s on line cathode anodic bonding method.The samples have no air bubble and the tensile strength exceeds 16.7MPa.

关 键 词：阳极键合 时间-电流特性 键合速度 界面质量 线阴极 电学模型 力学模型 

分 类 号：TB333[一般工业技术—材料科学与工程]