熊瑛

作品数：15被引量：39H指数：4
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发文领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
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大高宽比光栅的摇床式辅助显影工艺
《光学精密工程》2020年第3期632-638,共7页王艺 侯双月 熊瑛 田扬超 刘刚 
国家重大科研仪器设备研制专项资助项目(No.CZBZDYZ20140002)。
针对大高宽比微结构显影过程中由显影液的对流传质严重受限、光刻胶层厚、显影时间长带来的显影不均匀问题,提出了基于翘板式摇床辅助的显影方法。利用有限元法模拟了摇床工作时整个样品表面的流场分布以及显影液在不同高宽比微结构光...
关键词：大高宽比光栅 摇床式辅助显影 沟槽深宽比 均匀流场 
基于软X射线成像菲涅耳波带片精确光学传递函数的离焦图像恢复
《中国科学技术大学学报》2017年第11期918-923,共6页李法虎 关勇 熊瑛 张晓波 刘刚 田扬超 
国家科学自然基金(11475175;11405175;11275204);国家重点研发计划(2016YFA0400902)资助
高分辨率软X射线显微成像已被广泛用于获得样品的三维结构.然而,焦深的受限问题导致样品投影图像离焦模糊,严重影响图像质量.提出了一种基于菲涅尔波带片的光学传递函数离焦图像的恢复方法.利用这种恢复方法,恢复了Siemens star测试板...
关键词：光学传递函数 X射线显微成像 图像恢复 菲涅耳波带片 
光刻胶纳米结构失效现象的光学特性分析
《新技术新工艺》2016年第9期66-69,共4页柏杨 张晓波 熊瑛 刘刚 田扬超 
国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2012CB825804)
具有纳米结构的光刻胶有着独特的光学特性,其纳米结构参数直接决定其光学特性。通过对光栅脊柱倾斜、粘连和倒伏堆叠这3种结构失效现象建模,利用严格耦合波理论数值,计算了各种失效结构对偏振光的反射率影响。结果表明,脊柱倾斜的纳米...
关键词：微纳加工 结构失效 严格耦合波分析 偏振 
脉冲电镀优化金镀层性能的工艺研究被引量：6
《新技术新工艺》2016年第9期7-11,共5页陈楠 熊瑛 郭亮 田扬超 刘刚 
国家重点基础研究发展计划(973项目)(2012CB825804)
镀金工艺是许多大高宽比微纳结构实现其功能化的重要技术手段。由于其结构的特殊性,往往需要获得晶粒小、致密均匀的金镀层,才能满足微纳元器件的需求。针对微纳米结构金属化的要求,研究了柠檬酸金钾脉冲电镀工艺,通过正交试验法确定了...
关键词：正交试验法 脉冲镀金 微纳结构 
高分辨X射线衍射元件的研制被引量：1
《传感技术学报》2014年第2期168-171,共4页熊瑛 刘刚 田扬超 
国家973计划项目(2012CB825804)
X射线波带片是纳米X射线成像系统的核心元件之一,为了研制高分辨率X射线波带片,对纳米结构的电子束光刻和高精度电镀进行了实验研究。首先,通过对电子束曝光工艺版图进行优化设计,平衡了邻近效应对纳米结构的影响,有效地控制了光刻胶的...
关键词：高分辨 X射线衍射元件 波带片 
基于辅助结构实时监测大高宽比纳米结构显影过程的方法研究
《传感技术学报》2012年第5期599-603,共5页崔焕焕 刘刚 周杰 熊瑛 田扬超 
国家自然科学基金项目(10875125)
提出了一种引入辅助结构作为显影过程的监测对象来实现对大高宽比纳米结构高度变化进行实时无损监测的方法。随着结构高度的变化,矩形光栅表现出明显的光学性质的变化,便于进行光学监测,适合用作辅助结构。使用光栅负一级和正一级衍射...
关键词：微机电系统 辅助结构 实时监测 大高宽比纳米结构 衍射效率 
UV-LIGA技术制作微型螺旋形加速度开关被引量：14
《光学精密工程》2010年第5期1152-1158,共7页黄新龙 熊瑛 陈光焱 田扬超 刘刚 
国家自然科学基金资助项目(No.10875125)
微型加速度开关是用于空间飞行体中感受加速度并完成致动的重要惯性器件。本文采用UV-LIGA技术,结合SU-8厚胶工艺、微电铸工艺以及牺牲层技术,制作了微型螺旋形加速度开关。研究了牺牲层工艺、SU-8光刻技术以及螺旋形弹簧形变控制等微...
关键词：UV-LIGA SU-8光刻 加速度触发开关 牺牲层技术 
大高宽比、高线密度X射线透射光栅的制作被引量：7
《光学精密工程》2009年第1期72-77,共6页柳龙华 刘刚 熊瑛 黄新龙 陈洁 李文杰 田金萍 田扬超 
国家自然科学基金资助项目(No.10675113No.10734070)
利用电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术,成功制作了面积为1 mm×1 mm,周期为300 nm,金吸收体厚度为1μm的用于X射线显微成像的透射光栅。首先,利用电子束光刻和微电镀技术在Si3N4薄膜上制作周期为300 nm,厚度为250 nm的高线密度光栅掩...
关键词：X射线透射光栅 电子束光刻 X射线光刻 X射线显微成像技术 
X射线成像椭球聚焦镜的设计与检测被引量：4
《核技术》2008年第9期671-675,共5页田金萍 李文杰 陈洁 刘刚 熊瑛 柳龙华 黄新龙 田扬超 
国家自然科学基金项目(N0.10675113;N0.10734070);教育部"985"支持项目资助
国家同步辐射实验室(NSRL)以Wiggler为入射光源,建设了高空间分辨X射线成像光束线和实验站。根据成像系统对照明光的要求,使用旋转椭球聚焦镜聚焦入射光,结合小孔和中心阻挡器,形成锥形空心光斑照射到样品上。本文对成像系统所需的旋转...
关键词：X射线成像 旋转椭球聚焦镜 同步辐射 聚焦效率 
热压印技术制作纳米光栅被引量：2
《微细加工技术》2008年第4期25-26,31,共3页熊瑛 刘刚 田扬超 
通过分析脱模过程的摩擦力,讨论了模具表面处理工艺与压模质量的关系,给出了降低脱膜过程摩擦力的工艺方法。实验结果表明,用类聚四氟乙烯膜作为脱模剂能大大减小模具表面与聚合物表面的摩擦力。研究了压模、脱模工艺参数对实验结果的影...
关键词：纳米光栅 热压印技术 PMMA 
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