牺牲层技术

作品数：22被引量：67H指数：4
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采用牺牲层技术的电容式微机械超声传感器的仿真与分析被引量：2
《中国生物医学工程学报》2018年第6期705-713,共9页郭庆 李妍 高尚 张培玉 
国家自然科学基金(61774055);河南省自然科学基金(162300410033);河南省科技厅产学研项目(162107000039)
电容式超声传感器有可能取代压电式超声传感器,在超声成像领域受到极大的关注。目前,对采用牺牲层释放技术加工而成的电容式微机械超声传感器(CMUT)的分析,均较少将释放工艺对其结构参数的影响进行详细的分析,故拟将牺牲层释放工艺对CMU...
关键词：电容式微机械超声传感器 共振频率 有限元仿真 生物MEMS 
敏感结构尺寸对压力传感器过载能力的影响
《仪表技术与传感器》2017年第10期14-16,45,共4页揣荣岩 关若飞 张晓民 
国家自然科学基金项目(61372019)
微机电系统(MEMS)表面微加工技术与IC工艺相兼容,利用该技术可以实现对压力传感器敏感结构尺寸的精确控制,并可用于提高传感器的过载能力。基于有限元仿真,通过应力分布的线性静力分析和非线性接触分析,确定压力传感器感压膜尺寸与过载...
关键词：压力传感器 牺牲层技术 线性 过载能力 应变 非线性接触分析 
3D打印技术构建支架修复软骨缺损的研究进展被引量：2
《医学研究杂志》2016年第5期187-189,193,共4页杨亚冬 张文元 
浙江省医药卫生科学研究计划项目(2015KYB092;2014KYA040);浙江省医药卫生平台计划(2015ZDA011);浙江省中医药科学研究基金项目(2015ZA045)
3D打印技术是近年来兴起的一种数字化快速成型技术。本文就3D打印技术在软骨修复中研究较多的"生物打印墨水"、种子细胞的控制性打印以及牺牲层工艺打印技术等方面进行综述,总结其在软骨缺损治疗中的研究进展,并提出了当前该技术在研究...
关键词：3D打印技术 软骨缺损 细胞控制性打印 牺牲层技术 
基于牺牲层技术的高过载压力传感器芯片被引量：3
《传感技术学报》2014年第12期1615-1621,共7页揣荣岩 王健 代全 杨理践 
国家自然科学基金项目(61372019)
提出了一种基于牺牲层技术的高过载压力传感器芯片。这种传感器充分利用了多晶硅机械特性和多晶硅纳米膜的压阻特性优势,提高了传感器满量程输出和过载能力。利用有限元方法设计了仿真模型,通过对弹性膜片应力分布的静态分析和非线性接...
关键词：压力传感器 过载保护 牺牲层技术 多晶硅纳米膜 
Si基薄膜体声波谐振器(FBAR)技术研究被引量：4
《半导体技术》2012年第6期456-459,469,共5页韩东 胡顺欣 冯彬 王胜福 邓建国 许悦 
介绍了目前国际上主流的薄膜体声波谐振器(FBAR)技术,分析了FBAR谐振器的结构设计和压电薄膜选取方案。依托Si基半导体工艺平台,采用牺牲层技术完成了空气腔的制作,利用磁控反应溅射技术制备的高质量(002)AlN薄膜作为压电材料,基于FBAR...
关键词：薄膜体声波谐振器 氮化铝薄膜 空气腔 牺牲层技术 谐振器 
砷化镓基毫米波MEMS开关表面工艺研究
《固体电子学研究与进展》2012年第1期78-82,共5页姜理利 贾世星 冯欧 朱健 
研究了砷化镓基毫米波MEMS开关的表面工艺方法,包括MEMS开关的工艺流程中的牺牲层技术、结构层技术、触点技术、薄膜电阻技术。重点阐述了以光敏聚酰亚胺作牺牲层和以电镀金作结构层的工艺制作方法。形成了砷化镓RF MEMS开关表面工艺流...
关键词：射频微机电系统开关 低温表面工艺 牺牲层技术 结构层技术 
高灵敏压力传感器过载保护结构设计被引量：5
《传感技术学报》2011年第5期675-678,共4页揣荣岩 孙瑞 刘晓为 王健 
国家自然科学基金项目(60776049);辽宁省教育厅创新团队项目(2007T130)
采用微机电系统（MEMS）牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小,灵敏度高的优势,但同时也带来了提高过载能力的难题。为此,利用有限元法,对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了静态线性分析和非线性接触分析。通过...
关键词：压力传感器 牺牲层技术 过载保护 非线性接触 
光敏聚酰亚胺牺牲层工艺研究被引量：7
《微处理机》2010年第5期10-12,16,共4页彭自求 王军 袁凯 何峰 蒋亚东 
电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金(KFJJ200805)
微机电系统(Micro Electromechanical System,MEMS)作为微电子技术应用的新突破,促进了现代信息技术的发展。牺牲层技术是MEMS应用的关键。介绍了光敏性聚酰亚胺作为牺牲层材料的优势,研究了工艺中光敏聚酰亚胺的厚度控制、亚胺化过程...
关键词：牺牲层技术 光敏聚酰亚胺 亚胺化 牺牲层释放 
UV-LIGA技术制作微型螺旋形加速度开关被引量：14
《光学精密工程》2010年第5期1152-1158,共7页黄新龙 熊瑛 陈光焱 田扬超 刘刚 
国家自然科学基金资助项目(No.10875125)
微型加速度开关是用于空间飞行体中感受加速度并完成致动的重要惯性器件。本文采用UV-LIGA技术,结合SU-8厚胶工艺、微电铸工艺以及牺牲层技术,制作了微型螺旋形加速度开关。研究了牺牲层工艺、SU-8光刻技术以及螺旋形弹簧形变控制等微...
关键词：UV-LIGA SU-8光刻 加速度触发开关 牺牲层技术 
金属基底上三维可动微机构的制作被引量：1
《纳米技术与精密工程》2009年第1期36-40,共5页杜立群 喻立川 刘文涛 宋磊 
国家自然科学基金资助项目(50675025);国家科技支撑计划项目( 2006BAF04B13)
在无背板生长工艺的基础上,以SU-8胶为牺牲层,直接在金属 Ni 基底上制作出了一种三维可动微机构.该器件的制作主要采用了SU-8厚胶光刻工艺、高深宽比结构的微电铸工艺以及牺牲层工艺.就SU-8胶与金属基底结合差、易产生气泡、去除困难,...
关键词：SU-8厚胶光刻 微电铸 牺牲层技术 微结构 可动机构 
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