陈光焱

作品数:26被引量:102H指数:7
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供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文主题:惯性开关微机电系统MEMSG值开关更多>>
发文领域:电气工程机械工程理学电子电信更多>>
发文期刊:《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》《上海交通大学学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金中国工程物理研究院科学技术发展基金四川省教育厅重大培育项目中国工程物理研究院预先研究基金更多>>
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基于载荷谱的凸轮机构关键摩擦副优化研究
《摩擦学学报》2020年第3期353-363,共11页王军锋 明仕林 王晓光 曾启文 李严 陈光焱 蔡振兵 
国家自然科学基金项目(U1730131);四川省青年科技创新研究团队项目(2017TD0017);四川省高校科研创新团队项目(18TD0005)资助.
通过台架试验测得凸轮机构的凸轮转动轴在实际工况下的载荷谱.然后,结合载荷谱和机构几何尺寸进行力学分析,得到凸轮轮廓上的载荷分布.针对机构关键摩擦副在最大载荷附近发生严重磨损的问题,以载荷分布为基础,通过UMT摩擦磨损试验机进...
关键词:凸轮机构 载荷谱 耐磨性 磨损机理 材料优化 
动态接触角对水银微流体惯性开关的影响
《机械设计与研究》2014年第2期52-55,共4页徐媛 杨涛 刘婷婷 王超 陈光焱 
国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11076024);四川省教育厅重大培育基金资助项目(07ZZ038);四川省教育厅重大培育基金资助项目(11ZA216)
针对传统微机械开关存在信号跳变、触点易磨损等缺点,设计了一种基于MEMS技术的水银微流体惯性开关。为了更准确地反映微通道中水银液滴在惯性力作用下的动态响应历程,基于Bracke、Jiang和Seebergh动态接触角模型编写用户自定义函数(UD...
关键词:惯性开关 微流体 动态接触角 阈值特性 响应时间 
水银微流体惯性开关的制作与测试被引量:1
《传感器与微系统》2013年第5期114-117,共4页徐媛 杨涛 蔺怡 刘婷婷 陈光焱 王超 
国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11076024);四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038);四川省教育厅重大培育项目(11ZA216)
针对传统微机械"固—固"型触点开关存在触点磨损、接触不稳定、导通电阻大、抗干扰能力差等缺点,设计制作了一种利用水银液滴在变矩形截面微通道中的流动来实现通断的微流体惯性开关。利用阳极键合和DRIE技术制作了开关微通道,采用溅射...
关键词:惯性开关 微流体 微机械加工 准静态阈值 冲击阈值 测试 
基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关的研制被引量:1
《上海交通大学学报》2013年第4期679-686,共8页王超 陈光焱 吴嘉丽 
国家自然科学基金;中国工程物理研究院联合基金资助(11076024);中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2009B0403044)
以弹性材料单晶硅为结构材料,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1 g~30 g)微惯性开关.根据材料力学中的卡氏定理和线弹性理论,推导得到了惯性开关闭合阈值的计算公式,其计数结果与ANSYS有限元分析结果的相对误差小于3%.为提高低g...
关键词:低g值微惯性开关 平面矩形螺旋梁 卡氏定理 双埋层SOI 微机电系统 
应用双埋层SOI工艺制备低g值微惯性开关被引量:7
《光学精密工程》2012年第5期1076-1083,共8页王超 吴嘉丽 陈光焱 
国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(No.11076024);中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(No.2009B0403044)
采用双埋层SOI(Silicon-On-Insulator)材料,结合KOH腐蚀工艺、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺、阳极键合以及喷雾式涂胶工艺,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关。利用二氧化硅KOH腐蚀/ICP刻蚀自停止的特点,平面矩形螺旋梁...
关键词:低g值微惯性开关 双埋层SOI 等电位 防粘连 硅衬片 
惯性微流体开关阈值特性与响应历程的数值仿真被引量:5
《机械设计与研究》2012年第1期90-94,共5页蔺怡 杨涛 刘婷婷 陈光焱 王超 
国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11076024);四川省教育厅资助重大培育项目(07ZZ038)
根据变矩形截面微通道惯性微流体开关的结构和工作机理,建立了水银液滴在临界状态下的开关静态阈值模型。采用VOF模型,考虑了表面张力作用和接触角效应,模拟了水银液滴在微通道中的动态时间历程,较准确地反映了液滴形状连续变化中的关...
关键词:微流体 惯性开关 数值仿真 流体体积分数法 阈值特性 响应历程 
低g值微惯性开关单向敏感性设计与分析被引量:1
《中国惯性技术学报》2012年第1期79-83,共5页王超 陈光焱 吴嘉丽 
中国工程物理研究院科学技术发展基金(2009B0403044)
选用典型的"弹簧-质量"系统,基于平面矩形螺旋梁结构,研制了一种具有良好单向敏感性的低g值微惯性开关。采用ANSYS有限元软件,对惯性开关的单向敏感性进行了静力学仿真分析。分析结果表明,横向加速度对惯性开关闭合阈值的影响较小。采用...
关键词:单向敏感性 平面矩形螺旋梁 低g值微惯性开关 微机电系统 
基于复合形法的低g微惯性开关结构优化设计被引量:2
《微纳电子技术》2011年第11期725-732,共8页王超 陈光焱 吴嘉丽 
低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置,其设计目的包括减小体积、提高抗振性和产品间闭合阈值一致性等综合性能。针对一种基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关,在给定条件下以增大螺旋梁厚度为目标进...
关键词:微惯性开关 优化设计 复合形法 参数化设计 微机电系统(MEMS) 
基于MEMS技术的低g值微惯性开关的设计与制作被引量:6
《传感技术学报》2011年第5期653-657,共5页王超 陈光焱 吴嘉丽 
中国工程物理研究院科学技术发展基金项目(2009B0403044)
惯性开关是一种感受惯性加速度,执行开关机械动作的精密惯性装置。选用典型的"弹簧-质量-阻尼"结构,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1gn^30gn)微惯性开关。惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成,采用ANSYS有限...
关键词:平面矩形螺旋梁 微惯性开关 低g值开关 微机电系统(MEMS) 
用于低g_n值微惯性开关的低刚度平面微弹簧设计与制作被引量:6
《光学精密工程》2011年第3期620-627,共8页王超 陈光焱 吴嘉丽 
中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(No.2009B0403044)
针对低gn值微惯性开关对微弹簧系统刚度的要求(0.1~1N/m数量级),设计了一种基于平面矩形螺旋梁结构的平面微弹簧。假设材料均匀、连续且具各向同性,根据材料力学的卡氏定理和线弹性理论,推导得到了微弹簧的弹性系数计算公式,...
关键词:平面微弹簧 低刚度微弹簧 平面矩形螺旋梁 微惯性开关 微机电系统 
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