平面微弹簧

作品数：16被引量：59H指数：5
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T2紫铜平面微弹簧疲劳性能研究
《有色金属工程》2020年第12期38-43,共6页刘鸿志 詹晓非 
国家自然科学基金资助项目(51675283)。
平面微弹簧是微机电系统(MEMS)传递机械能和弹性力的关键结构,其疲劳性能直接关系到微机电系统的稳定性和可靠性。制备了线宽0.5 mm的轧制态紫铜平面微弹簧,研究了坯料纤维组织初始角度、厚度和预热处理温度对微弹簧疲劳性能的影响。结...
关键词：T2紫铜 平面微弹簧 微挤压 纤维组织 疲劳性能 
应用于电磁驱动器的非线性平面微弹簧及其集成制造工艺研究
《传感技术学报》2020年第2期167-172,共6页邵秀锋 赵小林 戴旭涵 唐智勇 黄建泽 丁桂甫 
国家自然科学基金项目(51875337)。
平面微弹簧是MEMS器件(如微驱动器、开关等)中一种常用的微结构。目前,平面非线性微弹簧的设计、制造与应用正日益成为关注的焦点。本文针对微机械电磁驱动器的需求,研制了一种变形量在100 μm左右,弹性变形力在5 mN附近的非线性变刚度...
关键词：微机电系统 非线性平面微弹簧 仿真 集成制造 
电铸参数对铜基平面微弹簧疲劳性能的影响被引量：2
《兵工学报》2016年第7期1252-1257,共6页Cao Quoc Dinh 徐宁 李成园 张新平 
江苏省自然科学基金项目(BK20151489);中央高校基本科研业务费专项资金项目(30920140112008);上海航天科技创新基金项目(SAST2015044)
平面微弹簧性能直接影响着微机电系统(MEMS)的效果和可靠性,研制长寿命的平面微弹簧对于保证微机电系统可靠性具有重要的意义。研究了占空比、电流密度、电源属性对电铸平面微弹簧质量的影响,并基于正交实验设计方法优化了工艺;制备了...
关键词：兵器科学与技术 平面微弹簧 微电铸 疲劳性能 正交实验 
平面微弹簧性能比较研究被引量：2
《机械制造与自动化》2014年第6期14-17,共4页程建建 聂伟荣 周织建 黄庆武 
针对平面微弹簧性能比较方法的缺乏,提出了弹簧柔度性能比较系数,通过在相等的弹簧占用结构面积情况下,分析C型、S型以及W型弹簧中任意两种弹簧柔度系数比的对数值分布情况。利用仿真软件验证了公式正确性,分析表明弹簧柔度性能比较系...
关键词：微机电系统 弹簧性能比较系数 柔度系数 结构面积 
平面S型微弹簧多轴向弹性系数分析被引量：3
《仪表技术与传感器》2014年第4期4-6,共3页程建建 聂伟荣 周织建 黄庆武 
针对在集中力作用下S型弹簧弹性系数理论公式不完善以及惯性力环境下弹簧弹性系数理论公式缺乏,推导了弹簧横向、纵向以及垂直方向弹性系数理论公式。利用仿真软件验证理论计算公式的正确性,分析得到在集中力作用下弹簧的弹性系数理论...
关键词：微惯性器件 平面微弹簧 多轴向弹性系数 惯性力 集中力 
基于MEMS镍平面微弹簧尺寸误差分析被引量：4
《机械设计》2012年第8期80-82,共3页邵伟平 张继桃 郝永平 渠元菊 王威 谷双喜 
国家预研项目
对微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)加工的S型微弹簧垂直方向弹性系数影响最大的参数是弹簧线宽b。鉴于此,特针对采用LIGA工艺加工出的两组不同弹簧的线宽进行了精密测量,分析计算出加工误差对弹性系数的影响大小,并对...
关键词：微机电系统 S型微弹簧 弹性系数 加工误差 
C型MEMS平面微弹簧弹性系数研究被引量：5
《压电与声光》2012年第3期470-472,共3页吴鹏飞 张国俊 钟志亲 戴丽萍 王姝娅 
设计了一种新型的C型微机电系统(MEMS)平面微弹簧,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧在3个方向(即x,y和z方向)上的弹性系数计算公式,用ANSYS进行有限元仿真,结果验证了公式推导的正确性。在公式计算和仿真的基础上,研究了...
关键词：微机电系统(MEMS) 平面微弹簧 弹性系数 有限元方法 
O型MEMS平面微弹簧弹性系数研究被引量：1
《微纳电子技术》2011年第10期660-663,共4页吴鹏飞 张国俊 钟志亲 戴丽萍 王姝娅 
对封闭O型MEMS平面微弹簧建立力学分析模型,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧弹性系数的计算公式,并用ANSYS进行有限元仿真,仿真结果表明,两者的相对误差低于2%。在计算公式和仿真的基础上,研究了各种结构参数对弹性系数...
关键词：微机电系统(MEMS) 平面微弹簧 卡氏第二定律 弹性系数 有限元方法(FEM) 
用于低g_n值微惯性开关的低刚度平面微弹簧设计与制作被引量：6
《光学精密工程》2011年第3期620-627,共8页王超 陈光焱 吴嘉丽 
中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(No.2009B0403044)
针对低gn值微惯性开关对微弹簧系统刚度的要求（0．1～1N／m数量级），设计了一种基于平面矩形螺旋梁结构的平面微弹簧。假设材料均匀、连续且具各向同性，根据材料力学的卡氏定理和线弹性理论，推导得到了微弹簧的弹性系数计算公式，...
关键词：平面微弹簧 低刚度微弹簧 平面矩形螺旋梁 微惯性开关 微机电系统 
MEMS镍平面弹簧非线性力学性能仿真及研究被引量：3
《微纳电子技术》2010年第12期736-741,共6页隋灵禾 戴旭涵 王佩红 赵小林 
国家自然科学基金资助项目(50977056)
工程应用中,平面微弹簧存在弹性系数的非线性现象且难以被忽略,弹簧结构的几何非线性是引起这种现象的主要原因。针对特定形状的弹簧运用Ansys软件进行了非线性有限元静力学仿真,计算出弹簧弹性力F与弹性形变x之间的对应关系,并与采用M...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 平面微弹簧 弹性系数 几何非线性 ANSYS 
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