孙瑞

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：沈阳工业大学更多>>
发文主题：压力传感器牺牲层技术综合性能高灵敏过载保护更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
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所获基金：辽宁省高校创新团队支持计划国家自然科学基金更多>>
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高灵敏压力传感器过载保护结构设计被引量：5
《传感技术学报》2011年第5期675-678,共4页揣荣岩 孙瑞 刘晓为 王健 
国家自然科学基金项目(60776049);辽宁省教育厅创新团队项目(2007T130)
采用微机电系统（MEMS）牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小,灵敏度高的优势,但同时也带来了提高过载能力的难题。为此,利用有限元法,对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了静态线性分析和非线性接触分析。通过...
关键词：压力传感器 牺牲层技术 过载保护 非线性接触 
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