王健

作品数：6被引量：35H指数：3
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供职机构：沈阳工业大学信息科学与工程学院更多>>
发文主题：压力传感器过载保护牺牲层技术有限元加速度传感器更多>>
发文领域：动力工程及工程热物理自动化与计算机技术金属学及工艺机械工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《仪表技术与传感器》《中国测试》更多>>
所获基金：国家自然科学基金辽宁省高校创新团队支持计划辽宁省科学技术基金国家科技支撑计划更多>>
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压阻式高固有频率Z轴加速度敏感结构被引量：3
《仪表技术与传感器》2015年第9期4-7,共4页揣荣岩 代全 王健 梁峭 衣畅 
国家自然科学基金资助项目(61372019)
基于微机电系统(MEMS)技术的加速度传感器因其性价比高、易于集成化而得到广泛应用,但在普通MEMS加速度敏感结构中仍然存在灵敏度和固有频率相互制约的弱点。为此,文中优化设计了一种压阻式新型加速度敏感结构,该结构在弹性梁加质量块...
关键词：加速度传感器 压阻式 高固有频率 微梁 多晶硅纳米膜 MEMS 
基于牺牲层技术的高过载压力传感器芯片被引量：3
《传感技术学报》2014年第12期1615-1621,共7页揣荣岩 王健 代全 杨理践 
国家自然科学基金项目(61372019)
提出了一种基于牺牲层技术的高过载压力传感器芯片。这种传感器充分利用了多晶硅机械特性和多晶硅纳米膜的压阻特性优势,提高了传感器满量程输出和过载能力。利用有限元方法设计了仿真模型,通过对弹性膜片应力分布的静态分析和非线性接...
关键词：压力传感器 过载保护 牺牲层技术 多晶硅纳米膜 
管道腐蚀超声波在线检测技术被引量：19
《中国测试》2014年第1期88-92,共5页杨理践 王健 高松巍 
国家自然科学基金项目(60927004;61141004);十二五国家科技部支撑计划项目(2011BAK06B01-03)
提出一种用于管道在线腐蚀检测的方法,基于超声波脉冲反射法检测原理,依据超声波在介质中的传播特性,研究系统的超声波发射电路和程控放大电路。实验结果表明:发射电路产生的高压负脉冲信号能够有效激励超声探头;程控放大电路可以解决...
关键词：腐蚀检测 超声测厚 高压负脉冲 可变增益放大 增益控制 
高灵敏压力传感器过载保护结构设计被引量：5
《传感技术学报》2011年第5期675-678,共4页揣荣岩 孙瑞 刘晓为 王健 
国家自然科学基金项目(60776049);辽宁省教育厅创新团队项目(2007T130)
采用微机电系统（MEMS）牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小,灵敏度高的优势,但同时也带来了提高过载能力的难题。为此,利用有限元法,对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了静态线性分析和非线性接触分析。通过...
关键词：压力传感器 牺牲层技术 过载保护 非线性接触 
多晶硅纳米薄膜牺牲层压力敏感结构设计被引量：2
《仪表技术与传感器》2010年第2期10-12,21,共4页揣荣岩 崔林 王健 刘本伟 郑雁公 李新 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036);辽宁省教育厅创新团队资助项目(2007T130);辽宁省微纳米技术及系统重点实验室;微系统与微制造辽宁省高校重点实验室开放基金资助项目
为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在MEMS（微机电系统）压阻传感器中得到有效应用，在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用了多晶硅纳米薄膜作为应变电阻，并给出这种传感器的设计方法。分析了牺牲层结构弹性膜片的应力分布对...
关键词：牺牲层 有限元 多晶硅纳米薄膜 密封腔 
多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器被引量：4
《仪表技术与传感器》2009年第9期6-8,共3页王健 揣荣岩 何晓宇 刘伟 张大为 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036)
多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用,文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构,并采用有限元...
关键词：压力传感器 有限元 多晶硅纳米薄膜 
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