刘伟

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十七研究所更多>>
发文主题：压阻式压力传感器压力传感器有限元更多>>
发文领域：动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》更多>>
所获基金：辽宁省科学技术基金国家自然科学基金更多>>
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多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器被引量：4
《仪表技术与传感器》2009年第9期6-8,共3页王健 揣荣岩 何晓宇 刘伟 张大为 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036)
多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用,文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构,并采用有限元...
关键词：压力传感器 有限元 多晶硅纳米薄膜 
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