崔林

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：沈阳工业大学信息科学与工程学院更多>>
发文主题：密封腔牺牲层有限元压力敏感传感器技术更多>>
发文领域：动力工程及工程热物理电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《沈阳工业大学学报》《仪表技术与传感器》更多>>
所获基金：辽宁省高校创新团队支持计划辽宁省科学技术基金国家自然科学基金更多>>
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多晶硅纳米薄膜牺牲层压力敏感结构设计被引量：2
《仪表技术与传感器》2010年第2期10-12,21,共4页揣荣岩 崔林 王健 刘本伟 郑雁公 李新 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036);辽宁省教育厅创新团队资助项目(2007T130);辽宁省微纳米技术及系统重点实验室;微系统与微制造辽宁省高校重点实验室开放基金资助项目
为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在MEMS（微机电系统）压阻传感器中得到有效应用，在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用了多晶硅纳米薄膜作为应变电阻，并给出这种传感器的设计方法。分析了牺牲层结构弹性膜片的应力分布对...
关键词：牺牲层 有限元 多晶硅纳米薄膜 密封腔 
牺牲层结构压力传感器技术
《沈阳工业大学学报》2009年第5期587-590,共4页揣荣岩 郑雁公 刘本伟 王文东 崔林 李新 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036);辽宁省教育厅创新团队项目(2007T130);辽宁省微纳米技术及系统重点实验室;微系统与微制造辽宁省高校重点实验室开放基金资助项目
为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在微机电系统压阻传感器中得到有效应用,在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用多晶硅纳米薄膜作为应变电阻,并对这种传感器的工艺方法进行了研究.通过对牺牲层材料及结构的分析,给出了传感器...
关键词：压力传感器 牺牲层 灵敏度 工艺设计 化学气相淀积 多晶硅 纳米薄膜 密封腔 
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