射频微机电系统开关

作品数：8被引量：13H指数：2
导出分析报告
相关领域：电子电信电气工程更多>>
相关作者：陈大鹏欧毅景玉鹏叶甜春李全宝更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所南京电子器件研究所东南大学北京大学更多>>
相关期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《上海电机学院学报》《固体电子学研究与进展》《强激光与粒子束》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金北京市科委项目国家科技型中小企业技术创新基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-8
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
电容式射频微机电系统开关的纳秒脉冲击穿及损伤特性被引量：4
《现代应用物理》2019年第1期32-37,共6页王科镜 李南 陈先龙 应琪 成永红 孟国栋 
国家自然科学基金资助项目(51607138);强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室开放基金资助项目(SKLIPR.1512)
设计并制备了典型电容式射频微机电系统(RF MEMS)开关结构,利用纳秒脉冲微间隙击穿的电气测试和光学诊断系统,对上、下电极间隙宽度在45~100μm的电容式RF MEMS开关的击穿及损伤特性进行了研究。结果表明:上、下电极间隙宽度为45~100μm...
关键词：电容式RF MEMS开关结构 纳秒脉冲 微米间隙 击穿 损伤 
电容式射频微机电系统开关损耗机制(英文)
《强激光与粒子束》2015年第2期170-175,共6页李沐华 赵嘉昊 尤政 
supported by National Natural Science Foundation of China(51205223)
插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一。电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了研究。电容式RF MEMS开关的射频损耗主要包括四部分:信号线的导体损耗、衬底损耗、辐射损耗以及MEMS桥...
关键词：损耗机制 射频微机电系统 电容式开关 共面波导 
毫米波串联接触式RF MEMS开关的设计与制造被引量：6
《固体电子学研究与进展》2012年第2期141-144,共4页侯智昊 朱锋 郁元卫 朱健 
设计了一种应用于毫米波波段的串联接触式RF MEMS开关。为了在毫米波波段获得较高的隔离度,通过使用短截线结构,以降低输入输出端口的耦合电容。为了获得可靠的金属接触,设计了一种改进型的"蟹形"桥结构。测试结果显示,在30GHz,插入损耗...
关键词：射频微机电系统开关 串联接触式 毫米波 
砷化镓基毫米波MEMS开关表面工艺研究
《固体电子学研究与进展》2012年第1期78-82,共5页姜理利 贾世星 冯欧 朱健 
研究了砷化镓基毫米波MEMS开关的表面工艺方法,包括MEMS开关的工艺流程中的牺牲层技术、结构层技术、触点技术、薄膜电阻技术。重点阐述了以光敏聚酰亚胺作牺牲层和以电镀金作结构层的工艺制作方法。形成了砷化镓RF MEMS开关表面工艺流...
关键词：射频微机电系统开关 低温表面工艺 牺牲层技术 结构层技术 
RF MEMS开关封装的通孔工艺研究
《固体电子学研究与进展》2012年第1期83-87,共5页江钧 朱健 贾世星 
将喷胶技术应用到金属互联工艺中,此方法可以用于器件的封装。具体工艺步骤如下:在衬底与硅帽键合结束后在底部湿法刻蚀孔200μm。在孔中利用PECVD生长SiO2,优化喷胶工艺在盲孔底部进行光刻,RIE除去SiO2后电镀金与衬底正面器件实现金属...
关键词：射频微机电系统开关 圆片级封装 喷胶工艺 
射频微机电系统开关软磁悬臂梁微电镀工艺被引量：1
《上海电机学院学报》2010年第4期193-196,共4页吴军民 汤学华 
研究了一种电磁型射频(RF)微机电系统(MEMS)开关的软磁悬臂梁的制备工艺。为了得到适合MEMS器件应用的镍铁合金磁性薄膜,展开微电镀工艺分析,采用振动样品磁强计测量镍铁合金薄膜的磁参量。实验结果:最大相对磁导率约为460,薄膜矫顽力约...
关键词：微机电系统 悬臂梁 镍铁 电镀 振动样品磁强计 
具有斜拉梁的串联接触式射频微机电系统开关被引量：1
《清华大学学报（自然科学版）》2009年第2期309-312,共4页侯智昊 刘泽文 胡光伟 刘理天 李志坚 
北京市科委项目(GYYKW05070014);国家创新基金支持项目(06c26213100944)
为解决悬臂梁结构的射频微机电系统开关在残余应力的作用下会发生翘曲的问题,提出在悬臂梁的顶端引入斜拉梁的方法。使用Al/Au复合桥膜作为射频微机电系统开关的上电极,实现了Au-Au接触,利用BorofloatTM玻璃作为衬底,使用电阻对导通状...
关键词：射频微机电系统开关 串联接触 斜拉梁 残余应力 
开关线型四位数字MEMS移相器被引量：2
《固体电子学研究与进展》2005年第3期344-348,共5页朱健 周百令 林金庭 郁元卫 陆乐 
介绍了一种基于射频微机械串联开关设计的开关线型四位数字微机电系统(Micro-electromechanical Systems以下简称MEMS)移相器.该移相器集成了16个RF MEMS开关,使用了13组四分之一波长传输线和MIM接地耦合电容,有效地使开关的驱动信号和...
关键词：微机电系统移相器 射频微机电系统开关 开关线 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部