毫米波串联接触式RF MEMS开关的设计与制造  

Design and Fabrication of Millimeter-wave DC-contact Series MEMS SwitchHOU Zhihao1

作　　者：侯智昊[1] 朱锋[1] 郁元卫[1,2,3] 朱健[1,2] 

机构地区：[1]南京电子器件研究所,南京210016 [2]微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室,南京210016 [3]南京大学电子科学与工程学院,南京210096

出　　处：《固体电子学研究与进展》2012年第2期141-144,共4页Research & Progress of SSE

摘　　要：设计了一种应用于毫米波波段的串联接触式RF MEMS开关。为了在毫米波波段获得较高的隔离度,通过使用短截线结构,以降低输入输出端口的耦合电容。为了获得可靠的金属接触,设计了一种改进型的"蟹形"桥结构。测试结果显示,在30GHz,插入损耗为-0.3dB,隔离度为-20dB。在DC～40GHz的频率范围内,插入损耗优于-0.5dB,隔离度优于-20dB。所设计的串联接触式RF MEMS开关,可应用于20～40GHz的频率范围内。The design of DC-contact series RF MEMS switch for millimeter-wave application is presented.To obtain high isolation in millimeter-wave band,the inand out-port of the switch is carefully designed.To obtain high contact stability,an improved-crab structure is used as the bridge structure.The measurement result show that the insertion losses are-0.3 dB@30 GHz,and the isolations are-20 dB@30 GHz.In a very wide frequency ranging from 20 GHz up to 40 GHz the insertion losses are less than-0.5 dB,and the isolations are better than-20 dB.The designed RF MEMS switch is suitable for the application of frequency range from 20 GHz to 40 GHz.

关 键 词：射频微机电系统开关 串联接触式 毫米波 

分 类 号：TH703[机械工程—仪器科学与技术] TN63[机械工程—精密仪器及机械]