柏杨

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供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
发文主题：光刻胶微纳加工偏振更多>>
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光刻胶纳米结构失效现象的光学特性分析
《新技术新工艺》2016年第9期66-69,共4页柏杨 张晓波 熊瑛 刘刚 田扬超 
国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2012CB825804)
具有纳米结构的光刻胶有着独特的光学特性,其纳米结构参数直接决定其光学特性。通过对光栅脊柱倾斜、粘连和倒伏堆叠这3种结构失效现象建模,利用严格耦合波理论数值,计算了各种失效结构对偏振光的反射率影响。结果表明,脊柱倾斜的纳米...
关键词：微纳加工 结构失效 严格耦合波分析 偏振 
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