田金萍

作品数：2被引量：11H指数：2
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供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文主题：大高宽比X射线光刻电子束光刻光学元件更多>>
发文领域：理学机械工程电子电信核科学技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《核技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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大高宽比、高线密度X射线透射光栅的制作被引量：7
《光学精密工程》2009年第1期72-77,共6页柳龙华 刘刚 熊瑛 黄新龙 陈洁 李文杰 田金萍 田扬超 
国家自然科学基金资助项目(No.10675113No.10734070)
利用电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术,成功制作了面积为1 mm×1 mm,周期为300 nm,金吸收体厚度为1μm的用于X射线显微成像的透射光栅。首先,利用电子束光刻和微电镀技术在Si3N4薄膜上制作周期为300 nm,厚度为250 nm的高线密度光栅掩...
关键词：X射线透射光栅 电子束光刻 X射线光刻 X射线显微成像技术 
X射线成像椭球聚焦镜的设计与检测被引量：4
《核技术》2008年第9期671-675,共5页田金萍 李文杰 陈洁 刘刚 熊瑛 柳龙华 黄新龙 田扬超 
国家自然科学基金项目(N0.10675113;N0.10734070);教育部"985"支持项目资助
国家同步辐射实验室(NSRL)以Wiggler为入射光源,建设了高空间分辨X射线成像光束线和实验站。根据成像系统对照明光的要求,使用旋转椭球聚焦镜聚焦入射光,结合小孔和中心阻挡器,形成锥形空心光斑照射到样品上。本文对成像系统所需的旋转...
关键词：X射线成像 旋转椭球聚焦镜 同步辐射 聚焦效率 
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