声表面波直线型电机小型化的研究  

Research of Minitype Surface Acoustic Wave Linear Motor

作　　者：熊瑛[1] 邬玉亭[1] 褚家如[1] 

机构地区：[1]中国科技大学精密机械与精密仪器系,邮政编码合肥230026

出　　处：《机械制造》2004年第3期42-44,共3页Machinery

摘　　要：随着微机电系统(MEMS)和声表面波技术的不断发展,设计和制造小型(微型)声表面波直线型电机成为必然的趋势。文章介绍了一种以铌酸锂/石英/硅层状结构作为压电基片,可以加工出体积足够小、理论上行程不受限制、实现二维运动的新样式电机。

关 键 词：机电耦合系数 压电材料 声表面波 直线电机 微机电系统 

分 类 号：TM359.4[电气工程—电机]