ZnO薄膜在传感器方面的最新应用进展  

Advance In Applications Of ZnO Thin Films To Sensors

作　　者：王英连[1] 孙汪典[1] 

机构地区：[1]暨南大学物理系

出　　处：《传感器世界》2004年第6期15-20,共6页Sensor World

摘　　要：ZnO薄膜是一种新型的、性能优良的半导体材料。本文详细介绍了ZnO薄膜在声光器件、压电器件、气敏元件、声表面波器件、压力元件、湿敏元件和紫外探测器等方面的最新应用进展,并对该材料的发展趋势进行了展望。ZnO thin film is a novel semiconductor material with excellent performance. The applications to some sensors including acoustooptic devices, piezoelectric sensors, gas sensors, SAW, pressure sensors , humidity devices and UV detectors are introduced in detail. The perspective of the film is viewed as well.

关 键 词：ZNO薄膜 压电传感器 气敏传感器 声表面波器件 湿度传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN304.21[自动化与计算机技术—控制科学与工程]