微电子技术在石英微机械振动陀螺中的应用  

Application of Micro-electro Technology in Quartz Micromachined Gyroscopes

作　　者：林日乐[1] 张巧云[1] 谢佳维[1] 翁邦英[1] 王瑞[1] 赵建华[1] 

机构地区：[1]四川压电与声光技术研究所,重庆400060

出　　处：《中国惯性技术学报》2004年第4期43-46,共4页Journal of Chinese Inertial Technology

摘　　要：叙述了采用微电子技术加工石英微机械振动陀螺振子的原理和基本过程,介绍了陀螺振子加工的研究结果和石英微机械陀螺的最新研究进展。The operation principle and processing technology of micro-electro technology on quartz micromachined gyro are described. The results of micro-electro technology and the latest development of quartz micromachined gyro are introduced.

关 键 词：微电子技术 石英 微机械振动陀螺 陀螺振子 光刻工艺 

分 类 号：TN965[电子电信—信号与信息处理]