翁邦英

作品数：3被引量：11H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：石英芯片敏感元件加速度计挠性更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信交通运输工程航空宇航科学技术更多>>
发文期刊：《压电与声光》《中国惯性技术学报》更多>>
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ST-石英的湿法腐蚀工艺研究被引量：4
《压电与声光》2014年第5期779-781,共3页林丙涛 唐光庆 周倩 张巧云 翁邦英 班亚娟 
对影响ST-切向石英表面湿法腐蚀质量的因素进行了试验研究,并对结果进行了详细分析。试验基片材料为双面抛光的ST-切向石英晶体,掩蔽膜材料为Cr/Au双层金属膜,腐蚀液为HF和NH4F的混合溶液;主要研究了基片清洗、腐蚀液成分配比及腐蚀温...
关键词：ST-切石英 湿法腐蚀 掩蔽膜 
石英微机械陀螺敏感器件的可靠性分析被引量：1
《压电与声光》2013年第4期511-513,共3页林日乐 赵建华 林珂 满欣 李文蕴 周倩 翁邦英 
石英微机械陀螺敏感器件通常采用一体式音叉结构,具有较高的可靠性,但由于在敏感芯片中设计了挠性结构,挠性结构的参数及加工质量是影响器件可靠性的关键因素。分析了敏感芯片挠性结构在外力作用下的应力分布及结构缺陷对其影响,分析了...
关键词：石英 微机械 陀螺 敏感器件 可靠性 
微电子技术在石英微机械振动陀螺中的应用被引量：6
《中国惯性技术学报》2004年第4期43-46,共4页林日乐 张巧云 谢佳维 翁邦英 王瑞 赵建华 
叙述了采用微电子技术加工石英微机械振动陀螺振子的原理和基本过程,介绍了陀螺振子加工的研究结果和石英微机械陀螺的最新研究进展。
关键词：微电子技术 石英 微机械振动陀螺 陀螺振子 光刻工艺 
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