周倩

作品数：4被引量：15H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：石英陀螺微机械湿法腐蚀差分更多>>
发文领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术电子电信交通运输工程更多>>
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ST-石英的湿法腐蚀工艺研究被引量：4
《压电与声光》2014年第5期779-781,共3页林丙涛 唐光庆 周倩 张巧云 翁邦英 班亚娟 
对影响ST-切向石英表面湿法腐蚀质量的因素进行了试验研究,并对结果进行了详细分析。试验基片材料为双面抛光的ST-切向石英晶体,掩蔽膜材料为Cr/Au双层金属膜,腐蚀液为HF和NH4F的混合溶液;主要研究了基片清洗、腐蚀液成分配比及腐蚀温...
关键词：ST-切石英 湿法腐蚀 掩蔽膜 
高灵敏度QVBA限位结构设计研究被引量：2
《压电与声光》2014年第4期572-574,579,共4页林丙涛 周倩 曾小珊 唐光庆 满欣 周本清 李海 
石英振梁加速度计(QVBA)具有检测精度高、准数字输出的特点,灵敏度是影响其性能的一个重要指标参数。针对现有石英振梁加速度计灵敏度低的问题,设计了一种高灵敏度石英振梁加速度计。它采用在石英摆片上下位置施加一对限位片,既可对石...
关键词：石英振梁加速度计 限位片 灵敏度 差分 阻尼 
石英微机械陀螺敏感器件的可靠性分析被引量：1
《压电与声光》2013年第4期511-513,共3页林日乐 赵建华 林珂 满欣 李文蕴 周倩 翁邦英 
石英微机械陀螺敏感器件通常采用一体式音叉结构,具有较高的可靠性,但由于在敏感芯片中设计了挠性结构,挠性结构的参数及加工质量是影响器件可靠性的关键因素。分析了敏感芯片挠性结构在外力作用下的应力分布及结构缺陷对其影响,分析了...
关键词：石英 微机械 陀螺 敏感器件 可靠性 
石英微机械陀螺抗高冲击能力的优化研究被引量：8
《压电与声光》2013年第1期56-58,共3页林日乐 李文蕴 赵建华 周倩 满欣 谢佳维 
石英微机械陀螺敏感芯片通常为一体式音叉结构,为实现特定的功能,常在芯片中设计开槽结构,开槽拐角处是应力集中的部位。在高冲击情况下,该部位的最大应力可能先达到石英晶体的屈服强度,导致芯片结构断裂损坏。通过在敏感芯片的开槽结...
关键词：石英 微机械 陀螺 抗高冲击 优化 
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