林丙涛

作品数：16被引量：72H指数：5
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：陀螺石英电极传感器芯片角速度传感器更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信理学机械工程更多>>
发文期刊：《分析化学》《半导体技术》《中国惯性技术学报》《光谱学与光谱分析》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
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高结构对称性微半球陀螺设计与制造被引量：1
《压电与声光》2023年第2期220-225,共6页梅松 杨峰 文路 卢昱瑾 贺韵祺 陈朝春 韩世川 雷霆 林丙涛 
针对陀螺高精度小型化需求,该文设计了一种微半球陀螺结构,建立微半球陀螺三维有限元模型,研究了微半球谐振子结构对称性对陀螺性能的影响规律。提出了谐振子圆度及1~4阶质量不对称误差的评价方法,实现了谐振子制造工艺优化,优化后的谐...
关键词：微型半球陀螺 圆度误差 质量不对称 品质因数(Q)值均匀性 零偏不稳定性 
微型半球陀螺平面电极装配方法设计被引量：3
《压电与声光》2021年第1期142-145,共4页杨峰 梅松 林丙涛 肖凯 雷霆 方海斌 
微型半球陀螺采用静电激励和电容检测技术实现陀螺的振型控制及信号读取,电容间隙的装配工艺是陀螺的关键工艺之一。该文对采用平面电极的微型半球陀螺装配工艺进行了探索,并根据谐振子的结构尺寸计算了装配误差的控制范围,设计了一种...
关键词：微型半球陀螺 平面电极 装配方法 精密垫片 零偏稳定性 
基于分次吹制工艺的微半球陀螺制作被引量：3
《压电与声光》2021年第1期146-148,156,共4页张桐 邓江涛 杨峰 梅松 肖凯 林丙涛 韩世川 林翠平 
提出了一种微半球谐振子分次吹制工艺新方法,通过增加第二次旋转吹制的方式,以补偿第一次吹制过程中由于温度场不均匀性造成的谐振子对称度误差。设计了微半球陀螺整体工艺方案,并制作了硼硅酸玻璃材质的微半球谐振子及陀螺样品,测试结...
关键词：分次吹制 微半球陀螺 硼硅酸玻璃 
半球谐振陀螺静电驱动建模与分析被引量：3
《压电与声光》2020年第2期189-192,共4页文路 江黎 蒋春桥 林丙涛 严隆辉 
该文构建了半球谐振陀螺(HRG)谐振子的静电驱动模型,对半球谐振子的1/2倍、1倍、2倍和更高阶频率电压信号的静电驱动力进行了理论推导分析。结果表明,该文得到的半球谐振子仅对其1/2倍、1倍及2倍谐振频率敏感,对其他频率信号不敏感。并...
关键词：半球谐振陀螺(HRG) 驱动电压 静电驱动模型 谐振频率 电压信号 
微半球谐振陀螺技术研究进展被引量：7
《微纳电子技术》2017年第11期772-780,共9页汪红兵 林丙涛 梅松 江黎 蒋春桥 
装备预研共用技术资助项目(41417010304)
首先介绍了微半球谐振陀螺(μHRG)基于驻波进动效应进行角度或角速度检测的工作原理。依据谐振子制作工艺的区别,将微半球谐振陀螺分为微玻璃吹制型、牺牲层型、精加工型三种,并对上述三种类型微半球谐振陀螺的加工工艺方案及特点、谐...
关键词：微半球谐振陀螺(μHRG) 玻璃吹制 牺牲层 精加工 Q值 各向同性刻蚀 
一种高电场激励效率的石英谐振元件设计
《压电与声光》2016年第6期840-842,共3页林丙涛 林日乐 林朝营 赵建华 李文蕴 
重庆市青年科技人才培养计划基金资助项目(cstc2014kjrc-qnrc40003)
设计了一种谐振梁为双"W"截面形状的石英音叉谐振元件,通过在梁表面凹槽的两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了电场的激励效率。经仿真对比,相对于"H"形截面的谐振元件,双"W"形截面的谐振元件的压电激励力提高约58%...
关键词：石英 谐振器 凹槽 电场激励效率 动态阻抗 品质因数(Q) 
一种高灵敏度石英微机械陀螺敏感器件被引量：1
《中国惯性技术学报》2016年第3期390-393,共4页林丙涛 蒋昭兴 江黎 赵建华 李文蕴 
装备预先研究项目(62401080505);重庆市青年科技人才培养计划基金项目(cstc2014kjrc-qnrc40003)
针对石英晶体各向异性的特点,设计了一种驱动梁为双"W"截面形状的石英音叉微机械陀螺,通过在驱动梁表面凹槽两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了驱动梁内部电场的激励效率和陀螺灵敏度。采用有限元仿真的方法,分析了...
关键词：微机械陀螺 凹槽 灵敏度 各向异性刻蚀 
ST-石英的湿法腐蚀工艺研究被引量：4
《压电与声光》2014年第5期779-781,共3页林丙涛 唐光庆 周倩 张巧云 翁邦英 班亚娟 
对影响ST-切向石英表面湿法腐蚀质量的因素进行了试验研究,并对结果进行了详细分析。试验基片材料为双面抛光的ST-切向石英晶体,掩蔽膜材料为Cr/Au双层金属膜,腐蚀液为HF和NH4F的混合溶液;主要研究了基片清洗、腐蚀液成分配比及腐蚀温...
关键词：ST-切石英 湿法腐蚀 掩蔽膜 
高灵敏度QVBA限位结构设计研究被引量：2
《压电与声光》2014年第4期572-574,579,共4页林丙涛 周倩 曾小珊 唐光庆 满欣 周本清 李海 
石英振梁加速度计(QVBA)具有检测精度高、准数字输出的特点,灵敏度是影响其性能的一个重要指标参数。针对现有石英振梁加速度计灵敏度低的问题,设计了一种高灵敏度石英振梁加速度计。它采用在石英摆片上下位置施加一对限位片,既可对石...
关键词：石英振梁加速度计 限位片 灵敏度 差分 阻尼 
一种基于谐振原理的微型压力传感器设计被引量：3
《压电与声光》2014年第2期159-161,共3页林丙涛 李海 蒋昭兴 董宏奎 赵建华 张巧云 
设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器,该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100kPa内传感器输出频率与输入压力的关系,经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0.09%。采用石英深槽...
关键词：石英 压力传感器 谐振 线性度 键合 
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