李海

作品数：2被引量：5H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：传感器设计压力传感器键合谐振线性度更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
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高灵敏度QVBA限位结构设计研究被引量：2
《压电与声光》2014年第4期572-574,579,共4页林丙涛 周倩 曾小珊 唐光庆 满欣 周本清 李海 
石英振梁加速度计(QVBA)具有检测精度高、准数字输出的特点,灵敏度是影响其性能的一个重要指标参数。针对现有石英振梁加速度计灵敏度低的问题,设计了一种高灵敏度石英振梁加速度计。它采用在石英摆片上下位置施加一对限位片,既可对石...
关键词：石英振梁加速度计 限位片 灵敏度 差分 阻尼 
一种基于谐振原理的微型压力传感器设计被引量：3
《压电与声光》2014年第2期159-161,共3页林丙涛 李海 蒋昭兴 董宏奎 赵建华 张巧云 
设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器,该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100kPa内传感器输出频率与输入压力的关系,经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0.09%。采用石英深槽...
关键词：石英 压力传感器 谐振 线性度 键合 
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