赵建华

作品数:5被引量:13H指数:2
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供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题:石英谐振梁电极薄膜体声波谐振器体声波更多>>
发文领域:自动化与计算机技术航空宇航科学技术电子电信交通运输工程更多>>
发文期刊:《压电与声光》《中国惯性技术学报》更多>>
所获基金:中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
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一种高电场激励效率的石英谐振元件设计
《压电与声光》2016年第6期840-842,共3页林丙涛 林日乐 林朝营 赵建华 李文蕴 
重庆市青年科技人才培养计划基金资助项目(cstc2014kjrc-qnrc40003)
设计了一种谐振梁为双"W"截面形状的石英音叉谐振元件,通过在梁表面凹槽的两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了电场的激励效率。经仿真对比,相对于"H"形截面的谐振元件,双"W"形截面的谐振元件的压电激励力提高约58%...
关键词:石英 谐振器 凹槽 电场激励效率 动态阻抗 品质因数(Q) 
一种高灵敏度石英微机械陀螺敏感器件被引量:1
《中国惯性技术学报》2016年第3期390-393,共4页林丙涛 蒋昭兴 江黎 赵建华 李文蕴 
装备预先研究项目(62401080505);重庆市青年科技人才培养计划基金项目(cstc2014kjrc-qnrc40003)
针对石英晶体各向异性的特点,设计了一种驱动梁为双"W"截面形状的石英音叉微机械陀螺,通过在驱动梁表面凹槽两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了驱动梁内部电场的激励效率和陀螺灵敏度。采用有限元仿真的方法,分析了...
关键词:微机械陀螺 凹槽 灵敏度 各向异性刻蚀 
一种基于谐振原理的微型压力传感器设计被引量:3
《压电与声光》2014年第2期159-161,共3页林丙涛 李海 蒋昭兴 董宏奎 赵建华 张巧云 
设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器,该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100kPa内传感器输出频率与输入压力的关系,经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0.09%。采用石英深槽...
关键词:石英 压力传感器 谐振 线性度 键合 
石英微机械陀螺敏感器件的可靠性分析被引量:1
《压电与声光》2013年第4期511-513,共3页林日乐 赵建华 林珂 满欣 李文蕴 周倩 翁邦英 
石英微机械陀螺敏感器件通常采用一体式音叉结构,具有较高的可靠性,但由于在敏感芯片中设计了挠性结构,挠性结构的参数及加工质量是影响器件可靠性的关键因素。分析了敏感芯片挠性结构在外力作用下的应力分布及结构缺陷对其影响,分析了...
关键词:石英 微机械 陀螺 敏感器件 可靠性 
石英微机械陀螺抗高冲击能力的优化研究被引量:8
《压电与声光》2013年第1期56-58,共3页林日乐 李文蕴 赵建华 周倩 满欣 谢佳维 
石英微机械陀螺敏感芯片通常为一体式音叉结构,为实现特定的功能,常在芯片中设计开槽结构,开槽拐角处是应力集中的部位。在高冲击情况下,该部位的最大应力可能先达到石英晶体的屈服强度,导致芯片结构断裂损坏。通过在敏感芯片的开槽结...
关键词:石英 微机械 陀螺 抗高冲击 优化 
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