满欣

作品数：8被引量：21H指数：3
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：石英陀螺微机械MEMS陀螺音叉更多>>
发文领域：电子电信航空宇航科学技术自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
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石英微机电陀螺的机械耦合误差研究被引量：4
《压电与声光》2018年第4期526-528,共3页林日乐 李文蕴 张桐 谢佳维 蒋昭兴 满欣 江黎 
石英微机电陀螺是一种利用科里奥利(Coriolis)效应的振动陀螺,工作时敏感芯片处于谐振状态,机械耦合误差是其主要误差源。分析了敏感芯片机械耦合误差因素,提出了驱动与检测模态解耦设计、振动隔离设计及轴对称质量平衡设计改进方案,实...
关键词：石英 微机电陀螺 机械耦合误差 
石英微机械陀螺敏感芯片的结构解耦特性研究被引量：2
《压电与声光》2017年第3期321-323,共3页林日乐 李文蕴 谢佳维 满欣 
石英微机械陀螺敏感芯片通常采用双端音叉结构,驱动音叉和检测音叉的振动耦合误差是其主要误差源。对双端音叉结构陀螺敏感芯片进行了结构解耦设计仿真,分析了芯片安装区对检测音叉振动特性的影响。通过解耦设计,减小了零偏误差信号,提...
关键词：石英微机械 陀螺 敏感芯片 结构解耦 
石英微机械陀螺敏感芯片的抗振动分析与改进被引量：2
《压电与声光》2015年第4期554-557,共4页李文蕴 林日乐 满欣 
重庆市青年科技人才培养计划基金资助项目(cstc2014kjrc-qnrc40003)
石英微机械陀螺是振动惯性器件,而陀螺敏感芯片结构的抗振动能力会直接影响陀螺的性能。由于工作环境的振动会对陀螺的性能产生一定的影响,因此需提高陀螺敏感芯片结构的抗振动能力。该文利用有限元仿真软件对敏感芯片结构进行随机振动...
关键词：石英微机械 陀螺 随机振动 有限元 
高灵敏度QVBA限位结构设计研究被引量：2
《压电与声光》2014年第4期572-574,579,共4页林丙涛 周倩 曾小珊 唐光庆 满欣 周本清 李海 
石英振梁加速度计(QVBA)具有检测精度高、准数字输出的特点,灵敏度是影响其性能的一个重要指标参数。针对现有石英振梁加速度计灵敏度低的问题,设计了一种高灵敏度石英振梁加速度计。它采用在石英摆片上下位置施加一对限位片,既可对石...
关键词：石英振梁加速度计 限位片 灵敏度 差分 阻尼 
石英微机械陀螺敏感器件减振设计被引量：1
《压电与声光》2014年第4期538-540,共3页满欣 谢佳维 李文蕴 
总装预研基金资助项目(51311050103)
石英微机械陀螺敏感器件在多轴陀螺应用中,各敏感器件之间存在振动干扰,导致陀螺噪声过大,输出信号中存在低频信号,无法满足使用要求。应用减振技术设计了一款集成式的减振器,该减振器具有体积小、质量轻等特点。利用有限元法模拟计算...
关键词：石英微机械 陀螺 减振器 有限元 
石英微机械陀螺敏感器件的可靠性分析被引量：1
《压电与声光》2013年第4期511-513,共3页林日乐 赵建华 林珂 满欣 李文蕴 周倩 翁邦英 
石英微机械陀螺敏感器件通常采用一体式音叉结构,具有较高的可靠性,但由于在敏感芯片中设计了挠性结构,挠性结构的参数及加工质量是影响器件可靠性的关键因素。分析了敏感芯片挠性结构在外力作用下的应力分布及结构缺陷对其影响,分析了...
关键词：石英 微机械 陀螺 敏感器件 可靠性 
石英微机械陀螺抗高冲击能力的优化研究被引量：8
《压电与声光》2013年第1期56-58,共3页林日乐 李文蕴 赵建华 周倩 满欣 谢佳维 
石英微机械陀螺敏感芯片通常为一体式音叉结构,为实现特定的功能,常在芯片中设计开槽结构,开槽拐角处是应力集中的部位。在高冲击情况下,该部位的最大应力可能先达到石英晶体的屈服强度,导致芯片结构断裂损坏。通过在敏感芯片的开槽结...
关键词：石英 微机械 陀螺 抗高冲击 优化 
石英MEMS陀螺的结构特性分析被引量：8
《压电与声光》2011年第4期544-546,553,共4页林日乐 谢佳维 周倩 满欣 李文蕴 张巧云 
介绍了石英微机电系统(MEMS)陀螺的工作原理及敏感芯片的音叉结构特点,采用有限元法分析了敏感芯片的结构特性,并对结构进行优化。利用石英晶体的压电效应,设计了合理的电极布局,并结合敏感芯片结构特点介绍了其微机械加工工艺。通过结...
关键词：石英 微机电系统(MEMS) 陀螺 音叉 
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