张巧云

作品数：1被引量：8H指数：1
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石英MEMS陀螺的结构特性分析被引量：8
《压电与声光》2011年第4期544-546,553,共4页林日乐 谢佳维 周倩 满欣 李文蕴 张巧云 
介绍了石英微机电系统(MEMS)陀螺的工作原理及敏感芯片的音叉结构特点,采用有限元法分析了敏感芯片的结构特性,并对结构进行优化。利用石英晶体的压电效应,设计了合理的电极布局,并结合敏感芯片结构特点介绍了其微机械加工工艺。通过结...
关键词：石英 微机电系统(MEMS) 陀螺 音叉 
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