机械耦合误差

作品数：9被引量：45H指数：3
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集成式石英微机械陀螺质量块制作工艺研究
《压电与声光》2023年第5期731-735,共5页白顺风 李贵龙 张挺 谢佳维 董宏奎 王枥 胡爽 曾庆海 李睿杰 简小娟 
国家部委预研项目(50917010401)。
为了满足集成式陀螺芯片对高精度质量块的要求,该文采用电子束镀膜(EBPVD)工艺代替传统的电镀工艺,在石英微机械陀螺芯片音叉端部制作了厚约2μm的质量块,并对质量块厚度均匀性、对准精度一致性及膜层附着力进行了研究。首先,通过调整...
关键词：陀螺芯片 机械耦合误差 电子束镀膜 激光修调 
石英微机电陀螺的机械耦合误差研究被引量：4
《压电与声光》2018年第4期526-528,共3页林日乐 李文蕴 张桐 谢佳维 蒋昭兴 满欣 江黎 
石英微机电陀螺是一种利用科里奥利(Coriolis)效应的振动陀螺,工作时敏感芯片处于谐振状态,机械耦合误差是其主要误差源。分析了敏感芯片机械耦合误差因素,提出了驱动与检测模态解耦设计、振动隔离设计及轴对称质量平衡设计改进方案,实...
关键词：石英 微机电陀螺 机械耦合误差 
硅微陀螺仪零偏稳定性的优化被引量：7
《光学精密工程》2014年第9期2381-2388,共8页赵阳 裘安萍 施芹 夏国明 赵健 
武器装备预研基金资助项目(No.9140A09011011BQ02);国家863高技术研究发展计划资助项目
为了进一步提高硅微陀螺仪的零偏稳定性,使其满足更高精度应用场合的需求,研究了硅微陀螺仪零偏稳定性优化技术。以典型Z轴硅微陀螺仪为例,对影响其零偏稳定性的主要因素:机械耦合误差、电路耦合误差、机械热噪声、接口电路噪声进行了...
关键词：硅微陀螺仪 零偏稳定性 机械耦合误差 前置接口放大器 
用于微石英陀螺质量修调的微电镀实验研究被引量：2
《北京理工大学学报》2013年第9期985-990,共6页赵克 马跃飞 崔芳 王茜蒨 
国家部委预研项目(200653009)
为了消除微石英音叉陀螺中存在的机械耦合误差,采用了质量修调的方法.运用微电镀工艺在音叉叉指上制作金质量块,通过正交实验,讨论了温度、电流和搅拌速度对电镀质量块粗糙度和厚度的影响,并分析了电镀层厚度与时间的关系,确定了工艺参...
关键词：微石英陀螺 机械耦合误差 微电镀 正交实验法 亚硫酸盐镀金 
解耦硅微陀螺仪的结构误差分析和系统性能测试(英文)被引量：3
《纳米技术与精密工程》2010年第6期545-552,共8页杨波 王寿荣 李宏生 黄丽斌 李坤宇 殷勇 
教育部博士点新教师基金资助项目(200802861063);船舶工业国防预研基金资助项目(6922001045);航空基金资助项目(20090869007)
为了研究对称解耦的硅微陀螺仪的性能,对其结构误差进行了分析,并对其系统性能进行了测试.利用全解耦硅微陀螺仪的简化运动模型,分析了由弹性梁梁宽误差导致的机械耦合误差,并推导其公式.利用有限元方法,对机械耦合误差进行了仿真.仿真...
关键词：全解耦硅微陀螺仪(DSMG) 机械耦合误差 弹性梁 零偏输出漂移 
硅微陀螺仪的机械耦合误差分析被引量：23
《光学精密工程》2008年第5期894-898,共5页施芹 裘安萍 苏岩 朱欣华 
国家自然科学基金资助项目(No.10572039);江苏省自然科学基金资助项目(No.BK2005064)
研究了硅微陀螺仪机械耦合误差的产生机理。以z轴硅微陀螺仪为研究对象,以动力学方程和矩阵理论为基础,分析了由于加工非理想性产生的不等弹性、阻尼不对称和质量不平衡产生误差的信号,建立了机械耦合误差信号的数学模型,并定量分析了z...
关键词：硅微陀螺仪 机械耦合误差 正交耦合误差 
微机械振动陀螺隔离耦合的结构设计被引量：4
《华侨大学学报（自然科学版）》2001年第4期380-384,共5页李文望 
福建省自然科学基金资助项目 ;厦门大学自选课题科研基金资助项目
微机械振动陀螺是新型的惯性元件 .其误差源主要有微机械结构的 Brownian噪声、电路噪声、机械耦合误差 ,以及电子机械耦合误差等 .这些误差严重影响着陀螺仪的精度 .由于制造误差等引起的机械耦合误差 ,可以通过改善陀螺仪的结构来减...
关键词：机械耦合误差 隔离耦合 微机械振动陀螺 微机械结构 结构设计 工作原理 
微机械振动陀螺的耦合误差和隔离耦合的结构设计被引量：2
《机械与电子》2001年第6期45-47,共3页李文望 孙道恒 
微机械振动陀螺是近几年发展起来的新型惯性元件 ,其误差源主要有微机械结构的 Brown-ian噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等 ,这些误差严重影响陀螺仪的精度 .本文提出了单级隔离耦合和双级隔离耦合的结构方案 ,有效减...
关键词：微陀螺 机械耦合误差 悬浮效应 隔离耦合 振动陀螺仪 结构设计 
微机械梳状驱动音叉陀螺的误差源研究被引量：3
《航空学报》1999年第5期426-429,共4页李万玉 阮爱武 罗晋生 冯培德 
定性地讨论了微机械梳状驱动音叉陀螺特有的一些误差源，主要有微机械结构的 Ｂｒｏｗ ｎｉａｎ 噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。
关键词：微机械 梳状驱动 音叉陀螺 机械耦合误差 
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