蒙特卡洛模拟方法在扫描电子显微学中的应用  

An application of Monte Carlo simulation method to SEM

作　　者：丁泽军[1] 李会民[1] 

机构地区：[1]中国科技大学中国科学院结构分析重点实验室,物理系,安徽合肥230026

出　　处：《电子显微学报》2003年第6期512-513,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (No .10 0 2 5 42 0 ;2 0 0 75 0 2 6 ;90 2 0 6 0 0 9)

关 键 词：蒙特卡洛模拟方法 扫描电子显微学 电子散射轨迹 电子探针 电子束微分析 电子束光刻 二次电子 背散射电子 物理机制 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学] O242.2[理学—计算数学]