超高真空电子束蒸发系统ULS400的技术改造及新应用  

Improvements of ultrahigh vacuum electron beam evaporation system and its new apolications in nanotechnology

作　　者：王银川[1] 许向东[1] 

机构地区：[1]北京大学化学与分子工程学院,北京100871

出　　处：《现代仪器》2004年第5期39-40,38,共3页Modern Instruments

基　　金：国家科技部"973"项目 ( 2 0 0 1CB610 5 )

摘　　要：本文主要介绍安装在超高真空电子束蒸发系统ULS4 0 0中———自行设计、研制的恒温控制系统以及它在纳米科技领域发挥出的新作用 :制备多种特殊结构的纳米材料 。The disadvantages of ULS 400 electron beam evaporation(EBE)system limit its further applications,especially in the productions of desirable nanostructures In order to solve these problems,we designed and installed a constant temperature controller With this peculiar controller,EBE can be applied specially in synthesizing desirable nanomaterials We opened up a new route to large-scale production of high-quality nanomaterals in ultrahigh vacuum The works indicate new applications of EBE in nanotechnology

关 键 词：超高真空 纳米科技 纳米材料 纳米线 恒温控制系统 电子束蒸发 制备 单晶硅 高品质 

分 类 号：TH811[机械工程—仪器科学与技术] TB383[机械工程—精密仪器及机械]