抗振型移相干涉测量术的进展  

Advances in vibration-insensitive phase-shifting interferometric metrology

作　　者：吴栋[1] 朱日宏[1] 陈磊[1] 王青[1] 何勇[1] 高志山[1] 

机构地区：[1]南京理工大学电光学院

出　　处：《光学仪器》2004年第5期59-64,共6页Optical Instruments

基　　金：国防军工计量"十五"计划重点项目(60803134)

摘　　要：移相干涉术易受环境振动的干扰,影响高精度的测量目的。为了进行振动环境下在线光干涉测试,必须采用有效的抗振技术。从移相算法、干涉图采集、光学结构、振动探测与补偿等方面介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展。目前具有抗振功能的移相干涉测试技术日益受到重视。Interferometry is sensitive to environment vibration. Vibration can easily led to uncertainty of optical path difference in phase-shifting interferometry and result in erroneous optical testing during on-line measurements. In this paper, the development of vibration-insensitive pbase-shifting technology is introduced in such aspects: phase-shifting algorithms, gathering of phase-shifting interferograms, optical structure, vibration detecting and compensation.

关 键 词：移相干涉术 抗振 干扰 干涉测量 干涉图 测试技术 干涉仪 动环 振动 高精度 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]