台式微机械激光加工系统  

出　　处：《光机电信息》2004年第11期37-37,共1页OME Information

摘　　要：New Wave Research公司研制成功一种Laser Mill型台式Nd：YAG激光微机械加工机。该加工机适用于大学和工业用户进行科学研究、样机试制、初步小规模开发和小规模生产。在加工微电机械系统(MEMS)、生物医学、半导体、生命科学和其他器件用有机和无机材料中，Laser Mill具有转换波长操作的特点。其应用范围从钝化、聚酰亚胺清除、片上实验室生产到喷嘴和孔口。

关 键 词：微机械 Research公司 微电机械系统 激光加工 半导体 MEMS 器件 台式 试制 钝化 

分 类 号：TH-39[机械工程] TG43[金属学及工艺—焊接]