InN材料及其应用  

Fabrication and application of InN films

作　　者：谢自力[1] 张荣[1] 毕朝霞[1] 刘斌[1] 修向前[1] 顾书林[1] 江若琏[1] 韩平[1] 朱顺明[1] 沈波[1] 施毅[1] 郑有炓[1] 

机构地区：[1]南京大学物理系,江苏省光电信息功能材料高技术研究重点实验室,江苏南京210093

出　　处：《微纳电子技术》2004年第12期26-32,共7页Micronanoelectronic Technology

基　　金：国家重点基础研究发展规划资助项目(G2000068305);国家高技术研究发展规划项目(2001AA3111102003AA311060);国家自然科学基金项目(699760146980600669987001);国家杰出青年基金项目(60025411);江苏省自然科学基金重点项目资助(BK2003203)

摘　　要：由于具有独特的本征特性,InN材料已经成为最近两年国际上最热门的研究材料之一。本文介绍了InN材料的基本性质,探讨了材料的生长技术和应用方向。最后给出了InN材料今后发展急需解决的问题以及未来的发展应用前景。Due to the great application potential and the secrets of the character s having been revealed,the InN material is one of the most attractive materials in recent two years. In this paper,the basic properties of InN were introduced. The growth techniques and applications of InN material were discussed. Finally,s ome questions and the prospect of the InN material in the future were given.

关 键 词：INN 带隙 半导体材料 晶格常数 晶格匹配 

分 类 号：TN304.2[电子电信—物理电子学]