电磁型微马达及其控制方式应用研究  

Research on Electromagnetic Micromotor and Its Control Mode

作　　者：曹长江[1] 杨红红[1] 张琛[1] 

机构地区：[1]上海交通大学信息存储研究中心,200030

出　　处：《测控技术》2000年第12期5-7,共3页Measurement & Control Technology

摘　　要：对Φ1mm和Φ2mm电磁型微马达的原理、结构进行了详细介绍。利用微马达可以作为同步电机使用的特性实现微马达的快速运转 ,同时利用其步进特性实现单步进给。为了实现微马达在精密MEMS系统中的应用 ,采用了一种简单、实用的方式来实现微马达的步距细分。该马达良好的性能和完善的控制方式提高了其实用能力。The principle and structure of the electromagnetic micromotor are introduced,the diameters of those motors are Φ1 mm and Φ2 mm.The motor can be used as synchronous motor that can get a fast velocity; at the same time, it can also be used as a step motor to realize single step movement. In order to apply it in MEMS system, a simple but effective method is used to realize the subdivision of a step angle. Its good performance and perfectly control method improve its capability in real time use.

关 键 词：MEMS 微马达 微执行器 微型机器人 细分技术 

分 类 号：TB22[天文地球—大地测量学与测量工程] TP273[一般工业技术—工程设计测绘]