Alcatel Vacuum Technology——A Recognized Leader in Deep Plasma Etching  

出　　处：《电子工业专用设备》2005年第1期76-78,共3页Equipment for Electronic Products Manufacturing

关 键 词：Alcatel公司 真空技术 等离子刻蚀 MMS ICP 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]