CSM系列半导体测试系统的研究  

A NEW SERIES OF COMPUTERIZED SEMICONDUCTOR MEASUREMENT SYSTEMS

作　　者：陈光遂[1] 何丕模[1] 高捷 陈敏麒[1] 

机构地区：[1]西安交通大学电子工程系

出　　处：《西安交通大学学报》1993年第1期13-20,共8页Journal of Xi'an Jiaotong University

基　　金："七五"国家重点科技攻关项目

摘　　要：CSM系列自动化半导体测试系统是由微型计算机、接口电路单元以及各种模拟测量仪器组合构成的专用测试系统.测量仪器是1MHz电容仪、微电流仪、线性斜坡电压发生器等等.本文重点介绍CSMⅢ型系统.该系统已配备七套应用软件,既可用于集成电路芯片生产过程中关键工序的在线工艺检测,也可用于半导体器件的研究工作.本系统可以替代进口的类似检测设备.A new CSM series of automated semiconductor measurement systems has been developed. It is the combination of a digital microcomputer and an interface-circuits unit with analog instruments: 1 MHz capacitance meter,pico-ampere meter and linear ramp voltage generator,etc. The system provides seven application programs, which can be used for both on-line process monitoring in fabrication of integrated circuits and semiconductor device research.

关 键 词：半导体器件 测试系统 CSM系列 

分 类 号：TN304.07[电子电信—物理电子学]