陈光遂

作品数：2被引量：3H指数：1
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发文主题：测试系统半导体器件测试仪C-V测量ATF更多>>
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准静态C-V测量中的工频噪声滤除新方法
《仪器仪表学报》1997年第5期514-517,共4页李同合 陈光遂 高捷 
准静态Ｃ—Ｖ测量中的工频噪声滤除新方法＊李同合陈光遂高捷（西安交通大学微电子工程系西安７１００４９）０引言半导体界面陷阱密度Ｄｉｔ是表征Ｓｉ－ＳｉＯ２界面性质的一个重要参数，该参数对半导体器件，特别是对ＭＯＳ晶体管特...
关键词：准静态 C-V测量 半导体 ATF 界面陷阱密度 测量 
CSM系列半导体测试系统的研究被引量：3
《西安交通大学学报》1993年第1期13-20,共8页陈光遂 何丕模 高捷 陈敏麒 
"七五"国家重点科技攻关项目
CSM系列自动化半导体测试系统是由微型计算机、接口电路单元以及各种模拟测量仪器组合构成的专用测试系统.测量仪器是1MHz电容仪、微电流仪、线性斜坡电压发生器等等.本文重点介绍CSMⅢ型系统.该系统已配备七套应用软件,既可用于集成电...
关键词：半导体器件 测试系统 CSM系列 
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